China Recubrimiento de carburo de silicio Fabricante, proveedor, fábrica

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultrapuro; estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parámetro del recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad	3,21 g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m-1·K-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Bloque CVD SiC para crecimiento de cristales de SiC

VeTek Semiconductor se centra en la investigación, el desarrollo y la industrialización de fuentes a granel de CVD-SiC, recubrimientos de CVD SiC y recubrimientos de CVD TaC. Tomando como ejemplo el bloque CVD SiC para el crecimiento de cristales de SiC, la tecnología de procesamiento del producto es avanzada, la tasa de crecimiento es rápida, la resistencia a altas temperaturas y la resistencia a la corrosión son fuertes. Bienvenido a consultar.

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Nueva tecnología de crecimiento de cristales de SiC

El carburo de silicio (SiC) de pureza ultra alta de Vetek Semiconductor formado por deposición química de vapor (CVD) se puede utilizar como material de origen para el crecimiento de cristales de carburo de silicio mediante transporte físico de vapor (PVT). En la nueva tecnología de crecimiento de cristales de SiC, el material de origen se carga en un crisol y se sublima en un cristal semilla. Utilice los bloques CVD-SiC desechados para reciclar el material como fuente para el cultivo de cristales de SiC. Bienvenido a establecer una asociación con nosotros.

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Cabezal de ducha CVD SiC

VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de cabezales de ducha CVD SiC en China. Nos hemos especializado en material de SiC durante muchos años. El cabezal de ducha CVD SiC se elige como material de anillo de enfoque debido a su excelente estabilidad termoquímica, alta resistencia mecánica y resistencia a Erosión por plasma. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Cabezal de ducha de SiC

VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de cabezales de ducha de SiC en China. Nos hemos especializado en materiales de SiC durante muchos años. El cabezal de ducha de SiC se elige como material de anillo de enfoque debido a su excelente estabilidad termoquímica, alta resistencia mecánica y resistencia a la erosión por plasma. .Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Disco de juego de revestimiento de SiC

VeTek Semiconductor, un fabricante líder de recubrimientos CVD SiC, ofrece discos de recubrimiento de SiC en reactores Aixtron MOCVD. Estos discos con revestimiento de SiC están fabricados con grafito de alta pureza y cuentan con un revestimiento de SiC CVD con impurezas inferiores a 5 ppm. Damos la bienvenida a consultas sobre este producto.

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Centro colector de revestimiento de SiC

VeTek Semiconductor, un reputado fabricante de recubrimientos CVD SiC, le ofrece el centro colector de recubrimientos SiC de última generación en el sistema Aixtron G5 MOCVD. Estos centros recolectores de recubrimientos de SiC están meticulosamente diseñados con grafito de alta pureza y cuentan con un recubrimiento CVD SiC avanzado, que garantiza estabilidad a altas temperaturas, resistencia a la corrosión y alta pureza. ¡Esperamos cooperar con usted!

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.