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VeTek Semiconductor es un fabricante líder profesional de receptores EPI, receptores planetarios ALD y receptores de grafito recubiertos de TaC en China.

El susceptor EPI de VeTek Semiconductor es un componente importante del crecimiento epitaxial en el proceso de fabricación de semiconductores. Su función principal es soportar y calentar la oblea para que pueda crecer uniformemente una capa epitaxial de alta calidad sobre la superficie de la oblea.

Los susceptores EPI de VeTek Semiconductors suelen estar hechos de grafito de alta pureza y recubiertos con una capa de carburo de silicio (SiC). Este diseño tiene las siguientes ventajas clave:

Estabilidad a altas temperaturas: El susceptor EPI puede permanecer estable en un ambiente de alta temperatura, asegurando el crecimiento uniforme de la capa epitaxial.

Resistencia a la corrosión: El revestimiento de SiC tiene una excelente resistencia a la corrosión y puede resistir la erosión de gases químicos, extendiendo la vida útil de la bandeja.

Conductividad térmica: La alta conductividad térmica del material de SiC garantiza una distribución uniforme de la temperatura de la oblea durante el calentamiento, mejorando así la calidad de la capa epitaxial.

Coincidencia del coeficiente de expansión térmica: El coeficiente de expansión térmica del SiC es similar al del grafito, lo que evita el problema de desprendimiento del recubrimiento debido a la expansión y contracción térmica.

Propiedades físicas básicas deDestinatario del PAI:

Taller de producción de recubrimientos CVD SiC:

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores: