Pieza de media luna de 8 pulgadas para fábrica de reactores LPE

Fabricante de discos de rotación planetaria recubiertos de carburo de tantalio

Anillo de enfoque de grabado de SiC sólido de China

Susceptor de barril recubierto de SiC para proveedor LPE PE2061S

Recubrimiento de carburo de tantalio

VeTek Semiconductor es un fabricante líder de materiales de recubrimiento de carburo de tantalio para la industria de semiconductores. Nuestra principal oferta de productos incluye piezas con revestimiento de carburo de tantalio CVD, piezas con revestimiento de TaC sinterizado para el crecimiento de cristales de SiC o procesos de epitaxia de semiconductores. Aprobado ISO9001, VeTek Semiconductor tiene un buen control de calidad. VeTek Semiconductor se dedica a convertirse en innovador en la industria de recubrimientos de carburo de tantalio mediante la investigación y el desarrollo continuos de tecnologías iterativas.

Los principales productos son el anillo desertor con recubrimiento de carburo de tantalio, el anillo de desviación recubierto con TaC, las piezas de media luna recubiertas con TaC, el disco de rotación planetaria recubierto con carburo de tantalio (Aixtron G10), el crisol recubierto con TaC; Anillos recubiertos de TaC; Grafito poroso recubierto de TaC; Susceptor de grafito con revestimiento de carburo de tantalio; Anillo guía recubierto de TaC; Placa recubierta de carburo de tantalio TaC; Susceptor de oblea recubierta con TaC; Anillo de revestimiento TaC; Cubierta de grafito con revestimiento TaC; El trozo recubierto de TaC, etc., la pureza es inferior a 5 ppm y puede cumplir con los requisitos del cliente.

El grafito con revestimiento de TaC se crea recubriendo la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza con una fina capa de carburo de tantalio mediante un proceso patentado de deposición química de vapor (CVD). La ventaja se muestra en la siguiente imagen:

El recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) ha llamado la atención debido a su alto punto de fusión de hasta 3880 °C, excelente resistencia mecánica, dureza y resistencia a los choques térmicos, lo que lo convierte en una alternativa atractiva a los procesos de epitaxia de semiconductores compuestos con requisitos de temperatura más altos. como el sistema Aixtron MOCVD y el proceso de epitaxia LPE SiC. También tiene una amplia aplicación en el proceso de crecimiento de cristales de SiC del método PVT.

Parámetro del recubrimiento de carburo de tantalio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas del recubrimiento TaC.
Densidad	14,3 (g/cm³)
Emisividad específica	0.3
Coeficiente de expansión térmica	6,3 10-6/K
Dureza (HK)	2000 Hong Kong
Resistencia	1×10-5 ohmios*cm
Estabilidad térmica	<2500℃
Cambios de tamaño de grafito	-10~-20um
Espesor del revestimiento	Valor típico ≥20um (35um±10um)

Datos EDX del recubrimiento TaC

Datos de la estructura cristalina del recubrimiento TaC

Elemento	Porcentaje atómico
	pt. 1	pt. 2	pt. 3	Promedio
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
ta m	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandril de revestimiento de TaC Disco planetario con revestimiento de TaC Placa recubierta de TaC Placa de rotación de recubrimiento TaC Susceptor de recubrimiento TaC Cubierta de recubrimiento CVD TaC Anillo de recubrimiento CVD TaC Placa de revestimiento TaC

Recubrimiento de carburo de silicio

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultrapuro; estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Parámetro del recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad	3,21 g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño de grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Fuerza flexible	415 MPa RT de 4 puntos
El módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m-1·K-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

Productos Destacados

Sobre nosotros

VeTek semiconductor Technology Co., LTD, fundada en 2016, es un proveedor líder de materiales de recubrimiento avanzados para la industria de semiconductores. Nuestro fundador, un ex experto del Instituto de Materiales de la Academia China de Ciencias, fundó la empresa centrándose en el desarrollo de soluciones de vanguardia para la industria.

Nuestras principales ofertas de productos incluyenRecubrimientos CVD de carburo de silicio (SiC), Recubrimientos de carburo de tantalio (TaC), SiC a granel, polvos de SiC y materiales de SiC de alta pureza. Los productos principales son susceptores de grafito recubiertos de SiC, anillos de precalentamiento, anillos de desviación recubiertos de TaC, piezas en forma de media luna, etc., la pureza es inferior a 5 ppm y pueden cumplir con los requisitos del cliente.