Receptor LED EPI
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Receptor LED EPI

VeTek Semiconductor es un proveedor líder de recubrimientos TaC y piezas de grafito con recubrimiento SiC. Nos especializamos en la producción de Susceptores LED EPI de última generación, esenciales para los procesos de epitaxia LED. Con un fuerte enfoque en la innovación y la calidad, ofrecemos soluciones confiables que cumplen con los estrictos requisitos de la industria LED. Contáctenos hoy para discutir sus consultas y descubrir cómo nuestros productos pueden mejorar sus procesos de fabricación.

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Descripción del Producto

Como fabricante profesional, nos gustaría ofrecerle un susceptor LED EPI de alta calidad.

Susceptor LED EPI de VeTek Semiconductor, un producto de vanguardia diseñado para procesos de crecimiento de epitaxia LED. Este susceptor de alta calidad sirve como portador de oblea para la epitaxia de LED, brindando soporte esencial y manteniendo el crecimiento de las obleas epitaxiales de LED. Con sus características excepcionales y diseño avanzado, el susceptor LED EPI garantiza un rendimiento y confiabilidad óptimos durante todo el proceso de epitaxia.

Fabricado con alta temperatura de primera calidad, el susceptor LED EPI exhibe una excelente tolerancia a la temperatura y estabilidad química. Su diseño meticulosamente diseñado garantiza un contacto y crecimiento uniforme de las obleas epitaxiales al tiempo que ofrece una superficie plana superior y resistencia al desgaste. La estructura y las dimensiones del susceptor están diseñadas para adaptarse a varios tamaños de oblea epitaxiales, acomodando diferentes diámetros y espesores con facilidad.

El susceptor LED EPI incorpora una excelente conductividad térmica, disipando eficientemente el calor para mantener una temperatura de crecimiento estable para las obleas epitaxiales. Esta característica crucial mejora la estabilidad y consistencia del proceso, asegurando un crecimiento LED consistente y de alta calidad.

Para mejorar aún más su rendimiento, el susceptor LED EPI está recubierto con una película delgada de carburo de tantalio (TaC) de primera calidad. Este recubrimiento proporciona una excepcional estabilidad a altas temperaturas, resistencia química, dureza, resistencia al desgaste y conductividad térmica mejorada. El recubrimiento TaC mejora significativamente la durabilidad y confiabilidad del producto, asegurando un rendimiento óptimo y duradero.

El susceptor LED EPI de VeTek Semiconductor cuenta con una compatibilidad perfecta con varios equipos y procesos de epitaxia LED, lo que lo convierte en una solución versátil para diversos requisitos de crecimiento de obleas epitaxiales. Al ofrecer excelencia y precisión, el susceptor LED EPI es la opción ideal para lograr procesos de epitaxia LED confiables y eficientes.

Experimente la revolución de la epitaxia con el susceptor LED EPI de VeTek Semiconductor, la solución confiable para un crecimiento LED superior.


Propiedades físicas básicas del recubrimiento TaC:

Propiedades físicas del recubrimiento TaC.
Densidad 14,3 (g/cm³)
Emisividad específica 0.3
Coeficiente de expansión térmica 6,3 10-6/K
Dureza (HK) 2000 Hong Kong
Resistencia 1×10-5 ohmios*cm
Estabilidad térmica <2500℃
Cambios de tamaño de grafito -10~-20um
Espesor del revestimiento Valor típico ≥20um (35um±10um)


Taller de producción de semiconductores VeTek


Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores:


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