Susceptor MOCVD con revestimiento TaC

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La epitaxia LED enfrenta desafíos como el control de calidad del cristal, la selección y combinación de materiales, el diseño y optimización estructural, el control y la consistencia del proceso y la eficiencia de extracción de luz. Elegir el material portador de oblea de epitaxia adecuado es crucial, y recubrirlo con una película delgada de carburo de tantalio (TaC) (recubrimiento de TaC) proporciona ventajas adicionales.

Al seleccionar un material portador de oblea de epitaxia, se deben considerar varios factores clave:

Tolerancia a la temperatura y estabilidad química: los procesos de epitaxia LED implican altas temperaturas y pueden implicar el uso de productos químicos. Por lo tanto, es necesario elegir materiales con buena tolerancia a la temperatura y estabilidad química para garantizar la estabilidad del soporte en entornos químicos y de alta temperatura.

Planitud de la superficie y resistencia al desgaste: la superficie del soporte de la oblea de epitaxia debe tener una buena planitud para garantizar un contacto uniforme y un crecimiento estable de la oblea de epitaxia. Además, la resistencia al desgaste es importante para evitar daños y abrasión en la superficie.

Conductividad térmica: elegir un material con buena conductividad térmica ayuda a disipar el calor de manera efectiva, manteniendo una temperatura de crecimiento estable para la capa de epitaxia y mejorando la estabilidad y consistencia del proceso.

En este sentido, recubrir el soporte de la oblea epitaxia con TaC ofrece las siguientes ventajas:

Estabilidad a altas temperaturas: el recubrimiento de TaC exhibe una excelente estabilidad a altas temperaturas, lo que le permite mantener su estructura y rendimiento durante los procesos de epitaxia a altas temperaturas y proporciona una tolerancia superior a la temperatura.

Estabilidad química: el recubrimiento TaC es resistente a la corrosión causada por sustancias químicas y atmósferas comunes, lo que protege al soporte de la degradación química y mejora su durabilidad.

Dureza y resistencia al desgaste: el recubrimiento TaC posee una alta dureza y resistencia al desgaste, lo que fortalece la superficie del soporte de la oblea epitaxia, reduce el daño y el desgaste y prolonga su vida útil.

Conductividad térmica: el recubrimiento de TaC demuestra una buena conductividad térmica, lo que ayuda a la disipación del calor, mantiene una temperatura de crecimiento estable para la capa de epitaxia y mejora la estabilidad y consistencia del proceso.

Por lo tanto, elegir un portador de oblea de epitaxia con un recubrimiento de TaC ayuda a abordar los desafíos de la epitaxia LED, cumpliendo con los requisitos de entornos químicos y de alta temperatura. Este recubrimiento ofrece ventajas como estabilidad a altas temperaturas, estabilidad química, dureza y resistencia al desgaste, y conductividad térmica, lo que contribuye a mejorar el rendimiento, la vida útil y la eficiencia de producción del portador de oblea epitaxia.

Propiedades físicas básicas del recubrimiento TaC:

Taller de producción de semiconductores VeTek

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores: