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VeTek Semiconductor se centra en la fabricación de nitruro de silicio y cuenta con un equipo de investigación y desarrollo compuesto por expertos senior y talentos técnicos de primer nivel. Las cerámicas de nitruro de silicio tienen las ventajas de dureza, resistencia al calor, resistencia al desgaste y resistencia a la corrosión de los materiales cerámicos en general, y tienen las ventajas de buena resistencia al choque térmico, resistencia a la fluencia a altas temperaturas, buena autolubricación y buena estabilidad química, y son ampliamente Utilizado en nuevos campos de energía, industria química, aeroespacial y de semiconductores.

Los materiales de nitruro de silicio de VeTek Semiconductor tienen las siguientes ventajas destacadas:

1. Excelente estabilidad química

Las cerámicas de nitruro de silicio tienen una excelente estabilidad química y pueden soportar una variedad de ácidos fuertes, álcalis y gases corrosivos. En el proceso de fabricación de semiconductores, a menudo es necesario lidiar con productos químicos corrosivos, las cerámicas de nitruro de silicio pueden proporcionar una garantía de rendimiento estable a largo plazo.

2. Excelentes propiedades mecánicas

Las cerámicas de nitruro de silicio tienen alta dureza, excelente resistencia a la compresión y resistencia al desgaste, son capaces de soportar tensiones mecánicas y desgaste superficial y no son fáciles de deformar o romper. Esta propiedad mecánica lo hace muy adecuado como material para piezas estructurales y de proceso en equipos semiconductores.

3. Estabilidad a altas temperaturas

Las cerámicas de nitruro de silicio pueden mantener la estabilidad en entornos de alta temperatura, no son fáciles de ablandar o derretir y pueden resistir el procesamiento y la manipulación a alta temperatura en el proceso de fabricación de semiconductores. Esto permite que se utilice en la fabricación de componentes clave de equipos de proceso de alta temperatura, como pinzas, componentes de cámaras de reacción, etc.

4. Excelentes propiedades aislantes

Las propiedades aislantes son fundamentales en la fabricación de dispositivos semiconductores. Las cerámicas de nitruro de silicio tienen buenas propiedades aislantes, que pueden aislar y proteger eficazmente los componentes del circuito de fugas de corriente o interferencias electromagnéticas, lo que ayuda a mejorar la estabilidad y confiabilidad del dispositivo.

5. Conductividad térmica y conductividad térmica.

Las cerámicas de nitruro de silicio tienen una alta conductividad térmica, pueden conducir y disipar eficazmente el calor generado por el dispositivo, lo que ayuda a mantener la estabilidad de la temperatura del dispositivo durante el proceso operativo. Esto es fundamental para el funcionamiento de alto rendimiento de los dispositivos semiconductores.

Las aplicaciones de los materiales de nitruro de silicio de VeTek Semiconductor en las industrias solar y de semiconductores incluyen principalmente:

1. Mandriles electrostáticos y componentes de la cámara de grabado.

Las cerámicas de nitruro de silicio se utilizan a menudo como materiales para mandriles electrostáticos y componentes de cámaras de grabado en la fabricación de semiconductores debido a su excelente estabilidad química y resistencia a altas temperaturas. Los mandriles electrostáticos se utilizan para fijar y estabilizar obleas o sustratos, mientras que los componentes de la cámara de grabado se utilizan para resistir gases corrosivos y entornos de alta temperatura.

2. Placas de distribución de gas y reflectores.

Las cerámicas de nitruro de silicio también se utilizan en la fabricación de equipos semiconductores en placas de distribución de gas y reflectores. Las placas de distribución de gas se utilizan para distribuir uniformemente gases reactivos o protectores en la cámara de reacción, mientras que los reflectores se utilizan para optimizar la distribución y el reflejo de la luz dentro de la cámara de reacción para mejorar la eficiencia y uniformidad de la reacción.

3. Soportes y componentes térmicos.

Las cerámicas de nitruro de silicio se utilizan a menudo como soportes y componentes de gestión térmica en equipos de fabricación de semiconductores. Estos componentes deben tener buena resistencia mecánica, resistencia al desgaste y conductividad térmica para garantizar el funcionamiento estable del equipo y la precisión del procesamiento del dispositivo.

4. Almohadillas de pulido químico mecánico (CMP)

La cerámica de nitruro de silicio se utiliza ampliamente como material de almohadilla en el proceso de pulido químico mecánico (CMP). Tiene una excelente planitud y resistencia al desgaste, y puede proporcionar un soporte estable durante el proceso de pulido para garantizar la planitud y precisión de la superficie de la oblea semiconductora.