China Recubrimiento de carburo de silicio Fabricante, proveedor, fábrica

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultrapuro; estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parámetro del recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad	3,21 g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m-1·K-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Pedestal recubierto de SiC

Vetek Semiconductor es profesional en la fabricación de recubrimientos CVD SiC, recubrimientos TaC sobre material de grafito y carburo de silicio. Ofrecemos productos OEM y ODM como pedestal recubierto de SiC, portaobleas, portaobleas, bandeja portaobleas, disco planetario, etc. Con una sala limpia de grado 1000 y un dispositivo de purificación, podemos ofrecerle productos con impurezas inferiores a 5 ppm. Esperamos escuchar de ti pronto.

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Anillo de entrada con revestimiento de SiC

Vetek Semiconductor se destaca por colaborar estrechamente con los clientes para crear diseños personalizados para el anillo de entrada de revestimiento de SiC adaptados a necesidades específicas. Estos anillos de entrada con revestimiento de SiC están meticulosamente diseñados para diversas aplicaciones, como equipos CVD SiC y epitaxia de carburo de silicio. Para soluciones personalizadas de anillos de entrada de recubrimiento de SiC, no dude en comunicarse con Vetek Semiconductor para obtener asistencia personalizada.

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Anillo de soporte recubierto de SiC

VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional en China, que produce principalmente anillos de soporte recubiertos de SiC, recubrimientos de carburo de silicio (SiC) CVD, recubrimientos de carburo de tantalio (TaC), SiC a granel, polvos de SiC y materiales de SiC de alta pureza. Estamos comprometidos a brindar soporte técnico perfecto y soluciones de productos definitivas para la industria de semiconductores. Bienvenido a contactarnos.

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Mandril de oblea

El mandril de oblea de Vetek Semiconductor desempeña un papel fundamental en la producción de semiconductores, permitiendo una producción rápida y de alta calidad. Con fabricación interna, precios competitivos y un sólido soporte de I+D, Vetek Semiconductor se destaca en servicios OEM/ODM para componentes de precisión. Esperamos su consulta.

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Susceptor planetario ALD

Proceso ALD, significa proceso de epitaxia de capa atómica. Los fabricantes de sistemas Vetek Semiconductor y ALD han desarrollado y producido susceptores planetarios ALD recubiertos de SiC que cumplen con los altos requisitos del proceso ALD para distribuir uniformemente el flujo de aire sobre el sustrato. Al mismo tiempo, el recubrimiento CVD SiC de alta pureza de Vetek Semiconductor garantiza la pureza del proceso. Bienvenido a discutir la cooperación con nosotros.

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Susceptor de recubrimiento de SiC

Vetek Semiconductor se centra en la investigación, el desarrollo y la industrialización de recubrimientos CVD SiC y recubrimientos CVD TaC. Tomando como ejemplo el susceptor de recubrimiento de SiC, el producto está altamente procesado con alta precisión, recubrimiento denso CVD SIC, resistencia a altas temperaturas y fuerte resistencia a la corrosión. Una consulta sobre nosotros es bienvenida.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.