China Recubrimiento de carburo de silicio Fabricante, proveedor, fábrica

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultrapuro; estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parámetro del recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad	3,21 g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m-1·K-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Portador de oblea con revestimiento de SiC

Como fabricante y proveedor profesional de soportes de obleas con recubrimiento de SiC en China, los soportes de obleas con recubrimiento de SiC de Vetek Semiconductor se utilizan principalmente para mejorar la uniformidad del crecimiento de la capa epitaxial, asegurando su estabilidad e integridad en ambientes corrosivos y de alta temperatura. Esperamos su consulta.

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Receptor ALD

VeTek Semiconductor es un fabricante profesional de susceptor ALD, recubrimiento CVD SiC y base de grafito CVD TAC COATING en China. Vetek Semiconductor desarrolló y produjo conjuntamente bases planetarias ALD recubiertas de SiC con fabricantes de sistemas ALD para cumplir con los altos requisitos del proceso ALD y distribuir uniformemente el flujo de aire sobre el sustrato. Esperamos seguir cooperando con usted.

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Techo recubierto de SiC CVD

Como fabricante y proveedor profesional de techos recubiertos de CVD SiC en China, los techos recubiertos de CVD SiC de VeTek Semiconductor tienen excelentes propiedades como resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, alta dureza y bajo coeficiente de expansión térmica, lo que lo convierte en una opción de material ideal en la fabricación de semiconductores. Esperamos seguir cooperando con usted.

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Susceptor Epi LED MOCVD

VeTek Semiconductor es un fabricante profesional de susceptor Epi LED MOCVD, susceptor planetario ALD y susceptor de grafito recubierto de TaC en China. El susceptor Epi LED MOCVD de VeTek Semiconductor está diseñado para aplicaciones exigentes de equipos epitaxiales. Su alta conductividad térmica, estabilidad química y durabilidad son factores clave para garantizar un proceso de crecimiento epitaxial estable y una producción de películas semiconductoras de alta calidad. Esperamos seguir cooperando con usted.

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Susceptor ALD con revestimiento de SiC

As a professional SiC coating ALD susceptor manufacturer and supplier in China, VeTek Semiconductor's SiC coating ALD susceptor is a support component specifically used in the atomic layer deposition (ALD) process. It plays a key role in the ALD equipment, ensuring the uniformity and precision of the deposition process. We believe that our ALD Planetary Susceptor products can bring you high-quality product solutions.

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Receptor Epi con revestimiento de SiC

VeTek Semiconductor es un fabricante, innovador y líder líder de productos SiC Coating Epi Susceptor en China. Durante muchos años, nos hemos centrado en varios productos de recubrimiento de SiC, como el susceptor Epi de recubrimiento de SiC, el portador de oblea de recubrimiento de SiC, el susceptor de recubrimiento de SiC, el susceptor ALD de recubrimiento de SiC, etc. VeTek Semiconductor se compromete a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos para el semiconductor. industria. Bienvenido a su consulta adicional.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.