Receptor Epi con revestimiento de SiC

Vetek Semiconductor es un fabricante profesional en China de SiC Coating Epi Susceptor.

El episusceptor con revestimiento de SiC de VeTek Semiconductor está hecho de grafito y carburo de silicio. Este producto de revestimiento de SiC utiliza grafito importado, que tiene un rendimiento más estable y una vida útil más larga, y es muy elogiado por nuestros clientes europeos y americanos. Al mismo tiempo, la concentración de susceptor Epi de revestimiento de SiC es inferior a 5 ppm y la uniformidad es muy buena. Después de continuas actualizaciones tecnológicas, VeTek Semiconductor utiliza un nuevo proceso para lograr una buena combinación entre el coeficiente de expansión térmica del revestimiento de SiC y los materiales de grafito.

SiC Coating Epi Susceptor se utiliza especialmente en ambientes corrosivos y de alta temperatura en equipos semiconductores. El susceptor Epi con revestimiento de SiC se usa comúnmente en equipos como AIXTRON, especialmente en el proceso de epitaxia ultravioleta profunda (Epitaxia DUV), y desempeña un papel clave.

En el proceso de epitaxia ultravioleta profunda (DUV Epitaxy), combinado con la excelente resistencia a altas temperaturas y a la corrosión del SiC Coating Epi Susceptor, el SiC Coating Epi Susceptor generalmente se instala alrededor de la cámara de reacción en el equipo AIXTRON como portador durante el proceso de epitaxia de dañar o contaminar el equipo.

Este susceptor Epi con revestimiento de SiC está diseñado para epitaxia ultravioleta profunda. Controlamos estrictamente el recubrimiento de carburo de silicio, incorporamos tecnología de capa amortiguadora para reducir los problemas causados ​​por las diferencias en los coeficientes de expansión térmica entre los recubrimientos de grafito y carburo de silicio, extendiendo así la vida útil del producto. Actualmente, nuestro producto ha recibido numerosos reconocimientos y es reconocido como uno de los mejores del mercado nacional.

Como líder de la industria de productos de recubrimiento de SiC, VeTek Semiconductor brinda servicios de personalización de productos y precios de productos satisfactorios, y espera recibir más consultas.

DATOS SEM DE LA PELÍCULA CVD SIC:

Tiendas de productos de faldón de revestimiento de SiC semiconductor VeTek:

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores: