Bloque susceptor semiconductor recubierto de SiC

El bloque susceptor semiconductor recubierto de SiC de VeTek Semiconductor es un dispositivo altamente confiable y duradero. Está diseñado para soportar altas temperaturas y entornos químicos agresivos manteniendo al mismo tiempo un rendimiento estable y una larga vida útil. Con sus excelentes capacidades de proceso, el bloque susceptor semiconductor con revestimiento de SiC reduce la frecuencia de reemplazo y mantenimiento, mejorando así la eficiencia de la producción. Esperamos tener la oportunidad de colaborar con usted.

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Descripción del Producto

El fabricante chino VeTek Semiconductor ofrece un bloque susceptor semiconductor de alta calidad con revestimiento de SiC. Compre un bloque susceptor semiconductor recubierto de SiC que sea de alta calidad directamente de fábrica.

El bloque susceptor semiconductor de VeTek Semiconductor con revestimiento de SiC está diseñado específicamente para su uso en sistemas VEECO GaN y utiliza tecnología MOCVD (deposición química de vapor metal-orgánico). Este bloque susceptor es un componente vital, hecho de material de grafito de alta pureza, alta densidad y alta resistencia. Está recubierto con nuestro recubrimiento patentado CVD SiC, que garantiza una excelente adhesión, prolonga la vida útil del producto y garantiza un calentamiento uniforme durante el proceso de fabricación.

El revestimiento denso del bloque susceptor semiconductor recubierto de SiC mejora su durabilidad y confiabilidad, al tiempo que garantiza una distribución del calor constante y uniforme. Esto contribuye directamente al alto rendimiento del producto durante el procesamiento. Al combinar material de grafito de alta calidad con nuestro avanzado recubrimiento CVD SiC, hemos logrado un producto con un rendimiento superior y una vida útil prolongada.

El bloque susceptor semiconductor con revestimiento de SiC desempeña un papel crucial a la hora de mantener una uniformidad de temperatura óptima y mejorar la eficiencia general del proceso de fabricación. Sus excepcionales propiedades de recubrimiento y su construcción robusta garantizan un rendimiento confiable y una larga vida útil. Con este producto, puede lograr altos rendimientos de procesamiento y una calidad superior del producto.

Estamos comprometidos a brindarle una solución de alto rendimiento que satisfaga sus necesidades específicas en sistemas VEECO GaN. Nuestro susceptor semiconductor establece el estándar de la industria en cuanto a durabilidad, uniformidad y confiabilidad, garantizando que sus procesos de fabricación sean eficientes y productivos.

Parámetro del producto del bloque susceptor semiconductor recubierto de SiC

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad	3,21 g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño de grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Fuerza flexible	415 MPa RT de 4 puntos
El módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m-1·K-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

Taller de producción de semiconductores VeTek

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores:

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