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China Recubrimiento de carburo de silicio Fabricante, proveedor, fábrica
VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultrapuro; estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.
Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.
En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.
Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.
Piezas del reactor que podemos hacer:
Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:
Parámetro del recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek:
| Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC. | |
| Propiedad | Valor típico |
| Estructura cristalina | FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111) |
| Densidad | 3,21 g/cm³ |
| Dureza | Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g) |
| Tamaño del grano | 2~10μm |
| Pureza química | 99,99995% |
| Capacidad calorífica | 640 J·kg-1·K-1 |
| Temperatura de sublimación | 2700 ℃ |
| Resistencia a la flexión | 415 MPa RT de 4 puntos |
| Módulo de Young | Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃ |
| Conductividad térmica | 300W·m-1·K-1 |
| Expansión Térmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.
