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China Recubrimiento de carburo de silicio Fabricante, proveedor, fábrica
VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultrapuro; estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.
Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.
En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.
Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.
Piezas del reactor que podemos hacer:
Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:
Parámetro del recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek:
| Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC. | |
| Propiedad | Valor típico |
| Estructura cristalina | FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111) |
| Densidad | 3,21 g/cm³ |
| Dureza | Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g) |
| Tamaño del grano | 2~10μm |
| Pureza química | 99,99995% |
| Capacidad calorífica | 640 J·kg-1·K-1 |
| Temperatura de sublimación | 2700 ℃ |
| Resistencia a la flexión | 415 MPa RT de 4 puntos |
| Módulo de Young | Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃ |
| Conductividad térmica | 300W·m-1·K-1 |
| Expansión Térmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
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Portador de grabado ICP recubierto de SiC
El portador de grabado ICP recubierto de SiC de VeTek Semiconductor está diseñado para las aplicaciones de equipos de epitaxia más exigentes. Hecho de material de grafito ultrapuro de alta calidad, nuestro portador de grabado ICP recubierto de SiC tiene una superficie muy plana y una excelente resistencia a la corrosión para soportar las duras condiciones durante el manejo. La alta conductividad térmica del soporte recubierto de SiC garantiza una distribución uniforme del calor para obtener excelentes resultados de grabado. VeTek Semiconductor espera construir una asociación a largo plazo con usted.
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Placa portadora de grabado PSS para semiconductores
La placa portadora de grabado PSS para semiconductores de VeTek Semiconductor es un portador de grafito ultrapuro de alta calidad diseñado para procesos de manipulación de obleas. Nuestros transportadores tienen un rendimiento excelente y pueden funcionar bien en entornos hostiles, altas temperaturas y condiciones duras de limpieza química. Nuestros productos se utilizan ampliamente en muchos mercados europeos y americanos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
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Susceptor de recocido térmico rápido
VeTek Semiconductor es un innovador y fabricante líder de susceptores de recocido térmico rápido en China. Nos hemos especializado en materiales de recubrimiento de SiC durante muchos años. Ofrecemos susceptores de recocido térmico rápido con alta calidad, resistencia a altas temperaturas y súper delgados. Le invitamos a visitar nuestro fábrica en China.
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Susceptor epitaxial GaN a base de silicio
VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional dedicado a proporcionar susceptor epitaxial GaN a base de silicio de alta calidad. El semiconductor susceptor se utiliza en el sistema VEECO K465i GaN MOCVD, alta pureza, resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, ¡bienvenido a consultar y cooperar con nosotros!
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Pieza de media luna de 8 pulgadas para reactor LPE
VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de piezas de media luna de 8 pulgadas para reactores LPE en China. Nos hemos especializado en material de recubrimiento de SiC durante muchos años. Ofrecemos una pieza de media luna de 8 pulgadas para reactores LPE diseñada específicamente para reactores de epitaxia LPE SiC. Esta media luna forma parte de una solución versátil y eficiente para la fabricación de semiconductores con su tamaño óptimo, compatibilidad y alta productividad. Le invitamos a visitar nuestra fábrica en China.
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Susceptor de panqueques recubierto de SiC para obleas LPE PE3061S de 6''
VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de susceptor de panqueque recubierto de SiC para obleas LPE PE3061S de 6'' en China. Nos hemos especializado en material de recubrimiento de SiC durante muchos años. Ofrecemos un susceptor de panqueque recubierto de SiC diseñado específicamente para obleas LPE PE3061S de 6'' . Este susceptor epitaxial presenta alta resistencia a la corrosión, buen rendimiento de conducción de calor y buena uniformidad. Le invitamos a visitar nuestra fábrica en China.
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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.
