China Recubrimiento de carburo de silicio Fabricante, proveedor, fábrica

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultrapuro; estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parámetro del recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad	3,21 g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m-1·K-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Pasador de elevación de oblea

VeTek Semiconductor es un innovador y fabricante líder de pasadores de elevación de oblea EPI en China. Nos hemos especializado en el recubrimiento de SiC sobre superficies de grafito durante muchos años. Ofrecemos un pasador de elevación de oblea EPI para el proceso Epi. Con alta calidad y precio competitivo, le invitamos a visitar nuestra fábrica en China.

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Susceptor de barril recubierto de SiC

VeTek Semiconductor ofrece un conjunto completo de soluciones de componentes para cámaras de reacción de epitaxia de silicio LPE, que brindan una vida útil prolongada, calidad estable y un rendimiento mejorado de la capa epitaxial. Nuestro producto, como el susceptor de barril recubierto de SiC, recibió comentarios sobre la posición de los clientes. También brindamos soporte técnico para Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy y más. No dude en solicitar información sobre precios.

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Si el receptor de EPI

VeTek Semiconductor es una fábrica que combina mecanizado de precisión y capacidades de recubrimiento de semiconductores SiC y TaC. El Si Epi Susceptor tipo barril proporciona capacidades de control de temperatura y atmósfera, mejorando la eficiencia de producción en los procesos de crecimiento epitaxial de semiconductores. Esperamos establecer una relación de cooperación con usted.

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Receptor Epi recubierto de SiC

Como principal fabricante nacional de recubrimientos de carburo de silicio y carburo de tantalio, VeTek Semiconductor puede proporcionar mecanizado de precisión y recubrimiento uniforme de Epi Susceptor recubierto de SiC, controlando eficazmente la pureza del recubrimiento y del producto por debajo de 5 ppm. La vida útil del producto es comparable a la del SGL. Bienvenido a consultarnos.

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Conjunto de receptores LPE SI EPI

VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de conjuntos de susceptores LPE Si Epi en China. Nos hemos especializado en recubrimientos de SiC y revestimientos de TaC durante muchos años. Ofrecemos un conjunto de susceptores LPE Si Epi diseñado específicamente para obleas LPE PE2061S de 4''. El grado de coincidencia del material de grafito y el recubrimiento de SiC es bueno, la uniformidad es excelente y la vida útil es larga, lo que puede mejorar el rendimiento del crecimiento de la capa epitaxial durante el proceso LPE (epitaxia en fase líquida). Le invitamos a visitar nuestra fábrica en Porcelana.

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Susceptores MOCVD Aixtron G5

VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de susceptores MOCVD Aixtron G5 en China. Nos hemos especializado en material de recubrimiento de SiC durante muchos años. Ofrecemos susceptores MOCVD Aixtron G5 diseñados específicamente para el reactor MOCVD Aixtron G5. Este kit de susceptores MOCVD Aixtron G5 es una solución versátil y eficiente para la fabricación de semiconductores con su tamaño óptimo, compatibilidad y alta productividad. Bienvenido a consultarnos.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.