China Recubrimiento de carburo de silicio Fabricante, proveedor, fábrica

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultrapuro; estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parámetro del recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad	3,21 g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m-1·K-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Tapa del colector de revestimiento de SiC

Bienvenido a VeTek Semiconductor, su fabricante confiable de recubrimientos CVD SiC. Estamos orgullosos de ofrecer la parte superior del colector con revestimiento de SiC de Aixtron, que está diseñada por expertos utilizando grafito de alta pureza y cuenta con un revestimiento de SiC CVD de última generación con impurezas inferiores a 5 ppm. No dude en comunicarse con nosotros si tiene alguna pregunta o consulta.

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Fondo del colector de revestimiento de SiC

Con nuestra experiencia en la fabricación de recubrimientos CVD SiC, VeTek Semiconductor se enorgullece de presentar la parte inferior del colector de recubrimiento SiC Aixtron. Estos fondos colectores con revestimiento de SiC están construidos con grafito de alta pureza y están recubiertos con CVD SiC, lo que garantiza una impureza inferior a 5 ppm. No dude en comunicarse con nosotros para obtener más información y consultas.

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Segmentos de cubierta de revestimiento de SiC internos

En VeTek Semiconductor, nos especializamos en la investigación, el desarrollo y la industrialización de recubrimiento CVD SiC y recubrimiento CVD TaC. Un producto ejemplar es el segmento interior de cubierta con revestimiento de SiC, que se somete a un procesamiento exhaustivo para lograr una superficie de SiC CVD densamente recubierta y altamente precisa. Este recubrimiento demuestra una resistencia excepcional a las altas temperaturas y proporciona una sólida protección contra la corrosión. No dude en contactarnos para cualquier consulta.

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Segmentos de cubierta de revestimiento de SiC

Vetek Semiconductor se dedica al avance y comercialización de recubrimientos CVD SiC y recubrimientos CVD TaC. A modo de ilustración, nuestros segmentos de cubierta con revestimiento de SiC se someten a un procesamiento meticuloso, lo que da como resultado un revestimiento denso de SiC CVD con una precisión excepcional. Presenta una notable resistencia a las altas temperaturas y ofrece una sólida protección contra la corrosión. Agradecemos sus consultas.

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Aceptador MOCVD

Vetek Semiconductor se centra en la investigación, el desarrollo y la industrialización de recubrimientos CVD SiC y recubrimientos CVD TaC. Tomando como ejemplo el susceptor MOCVD, el producto está altamente procesado con alta precisión, revestimiento denso CVD SIC, resistencia a altas temperaturas y fuerte resistencia a la corrosión. Una consulta sobre nosotros es bienvenida.

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Anillo de precalentamiento

VeTek Semiconductor es un innovador fabricante de recubrimientos de SiC en China. El anillo de precalentamiento proporcionado por VeTek Semiconductor está diseñado para el proceso de epitaxia. El recubrimiento uniforme de carburo de silicio y el material de grafito de alta gama como materias primas garantizan una deposición consistente y mejoran la calidad y uniformidad de la capa epitaxial. Esperamos establecer una cooperación a largo plazo con usted.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.