China Recubrimiento de carburo de silicio Fabricante, proveedor, fábrica

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultrapuro; estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parámetro del recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad	3,21 g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m-1·K-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Soporte recubierto de SiC para LPE PE2061S

VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de soporte recubierto de SiC para LPE PE2061S en China. Nos hemos especializado en material de recubrimiento de SiC durante muchos años. Ofrecemos un soporte recubierto de SiC para LPE PE2061S diseñado específicamente para el reactor de epitaxia de silicio LPE. Este soporte recubierto de SiC para LPE PE2061S es la parte inferior del susceptor del barril. Puede soportar altas temperaturas de 1600 grados Celsius y prolongar la vida útil del producto de repuesto de grafito. Bienvenido a enviarnos su consulta.

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Placa superior recubierta de SiC para LPE PE2061S

VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de placa superior recubierta de SiC para LPE PE2061S en China. Nos hemos especializado en material de recubrimiento de SiC durante muchos años. Ofrecemos una placa superior recubierta de SiC para LPE PE2061S diseñada específicamente para el reactor de epitaxia de silicio LPE. Esta placa superior recubierta de SiC para LPE PE2061S es la mejor junto con el susceptor de barril. Esta placa recubierta de SiC CVD cuenta con alta pureza, excelente estabilidad térmica y uniformidad, lo que la hace adecuada para el cultivo de capas epitaxiales de alta calidad. Le invitamos a visitar nuestra fábrica. en China.

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Susceptor de barril recubierto de SiC para LPE PE2061S

VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de susceptor de barril recubierto de SiC para LPE PE2061S en China. Nos hemos especializado en material de recubrimiento de SiC durante muchos años. Ofrecemos un susceptor de barril recubierto de SiC diseñado específicamente para obleas LPE PE2061S de 4''. Este susceptor cuenta con un revestimiento duradero de carburo de silicio que mejora el rendimiento y la durabilidad durante el proceso LPE (epitaxia en fase líquida). Le invitamos a visitar nuestra fábrica en China.

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Cabezal de ducha de gas SiC sólido

VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de cabezales de ducha de gas SiC sólido en China. Nos hemos especializado en materiales semiconductores durante muchos años. El diseño de porosidad múltiple del cabezal de ducha de gas SiC sólido VeTek Semiconductor garantiza que el calor generado en el proceso CVD se pueda dispersar. , asegurando que el sustrato se caliente de manera uniforme. Esperamos establecernos a largo plazo con usted en China.

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Proceso de deposición química de vapor Anillo de borde de SiC sólido

VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder en el proceso de deposición química de vapor de anillos de borde de SiC sólido en China. Nos hemos especializado en materiales semiconductores durante muchos años. El anillo de borde de SiC sólido VeTek Semiconductor ofrece una uniformidad de grabado mejorada y un posicionamiento preciso de la oblea cuando se usa con un mandril electrostático. , asegurando resultados de grabado consistentes y confiables. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Anillo de enfoque de grabado de SiC sólido

VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder en anillos de enfoque y grabado de SiC sólido en China. Nos hemos especializado en materiales de SiC durante muchos años. El SiC sólido se elige como material de anillo de enfoque debido a su excelente estabilidad termoquímica, alta resistencia mecánica y resistencia al plasma. Erosión. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.