Cabezal de ducha de SiC

Puede estar seguro de comprar un cabezal de ducha de SiC en nuestra fábrica.

Los materiales de carburo de silicio tienen una combinación única de excelentes propiedades térmicas, eléctricas y químicas, lo que los hace ideales para aplicaciones en la industria de semiconductores donde se requieren materiales de alto rendimiento.

La revolucionaria tecnología de VeTek Semiconductor permite la producción de cabezales de ducha de SiC, un material de carburo de silicio de pureza ultraalta creado mediante el proceso de deposición química de vapor.

El cabezal de ducha de SiC es un componente crucial en la fabricación de semiconductores, diseñado específicamente para sistemas MOCVD, epitaxia de silicio y procesos de epitaxia de SiC. Fabricado con carburo de silicio sólido (SiC) robusto, este componente puede soportar las condiciones extremas del procesamiento de plasma y aplicaciones de alta temperatura.

El carburo de silicio (SiC) es conocido por su alta conductividad térmica, resistencia a la corrosión química y resistencia mecánica excepcional, lo que lo convierte en un material ideal para componentes de SiC a granel como el cabezal de ducha de SiC. El cabezal de ducha de gas garantiza una distribución uniforme de los gases de proceso sobre la superficie de la oblea, lo cual es esencial para producir capas epitaxiales de alta calidad. Los anillos de enfoque y los anillos de borde, a menudo fabricados de CVD-SiC, mantienen una distribución uniforme del plasma y protegen la cámara de la contaminación, mejorando la eficiencia y el rendimiento del crecimiento epitaxial.

Con su control preciso del flujo de gas y excelentes propiedades del material, el cabezal de ducha de SiC es un componente clave en el procesamiento de semiconductores moderno y admite aplicaciones avanzadas en epitaxia de silicio y epitaxia de SiC.

VeTek Semiconductor ofrece un cabezal de ducha semiconductor de carburo de silicio sinterizado de baja resistividad. Tenemos la capacidad de diseñar a medida y suministrar materiales cerámicos avanzados utilizando una variedad de capacidades únicas.

Parámetro del producto del cabezal de ducha SiC:

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