calentador de revestimiento cerámico de carburo de silicio

Semiconductores VeTekEl calentador con revestimiento cerámico de carburo de silicio es un calentador diseñado para entornos hostiles y de alta temperatura. Cubre una capa de revestimiento cerámico de carbono y silicio (SiC) en la superficie del elemento calefactor para darle al equipo una excelente resistencia al calor, resistencia a la corrosión y conductividad térmica. 

Calentador de revestimiento cerámico de carburo de siliciose utiliza principalmente en equipos de recubrimiento al vacío (evaporación). Los métodos comúnmente utilizados son PCD (secado químico por plasma) y PVD (deposición física de vapor), que se utilizan ampliamente en la fabricación de semiconductores y otras aplicaciones industriales de alta demanda.

Combinado con el diseño de recubrimiento de alto rendimiento del calentador de recubrimiento cerámico de carburo de silicio,Puede proporcionar una excelente solución de calentamiento para procesos de alta temperatura..

Excelente conductividad térmica: El material SiC tiene una excelente conductividad térmica, lo que garantiza que el calentador pueda lograr una distribución uniforme del calor en el área de trabajo y reducir los gradientes de temperatura.

Proporcionar una distribución uniforme del calor.: El calentador con revestimiento cerámico de carburo de silicio utiliza la alta conductividad térmica del material de SiC para lograr una distribución uniforme de la temperatura en toda el área de calentamiento. Esto es fundamental para garantizar un tratamiento térmico uniforme de las obleas semiconductoras en diversos procesos de alta temperatura, como el procesamiento térmico rápido (RTP), la difusión y la oxidación, evitando defectos del producto causados ​​por el sobrecalentamiento local o la temperatura desigual.

Tolerancia a altas temperaturas: El revestimiento de SiC permite que el calentador resista temperaturas extremadamente altas, normalmente hasta 1600 °C, adecuado para diversos procesos de procesamiento a alta temperatura.

Mejorar la resistencia al calor: Debido a que el recubrimiento puede soportar temperaturas extremadamente altas, funciona bien en procesos que requieren un funcionamiento prolongado a alta temperatura. Por ejemplo, en los procesos de deposición química de vapor (CVD), el calentador de revestimiento cerámico de carburo de silicio puede garantizar un funcionamiento estable a largo plazo del equipo a altas temperaturas y mantener un rendimiento de calentamiento constante, mejorando así la repetibilidad y confiabilidad del proceso.

Resistencia a la corrosión química: El revestimiento de SiC tiene una resistencia extremadamente alta a ácidos, álcalis y gases corrosivos, y puede permanecer estable durante mucho tiempo en un entorno de atmósfera química compleja, lo que prolonga la vida útil del equipo. 

Extendiendo la vida útil del equipo.: El recubrimiento de SiC tiene una excelente resistencia a la oxidación y a la corrosión, y puede resistir eficazmente la erosión química y la oxidación a altas temperaturas. Esto es muy crítico en el proceso de fabricación de semiconductores, especialmente en un entorno que maneja gases y productos químicos corrosivos. El efecto protector del revestimiento puede prolongar significativamente la vida útil del calentador y reducir la frecuencia de reemplazo del equipo y los costos de mantenimiento.

Propiedades físicas básicas del calentador de revestimiento cerámico de carburo de silicio.:

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