Recubrimiento cerámico de carburo de silicio

Semiconductores Vetek Revestimiento cerámico de carburo de silicioes un recubrimiento protector de alto rendimiento hecho de material de carburo de silicio (SiC) extremadamente duro y resistente al desgaste, que proporciona una excelente resistencia a la corrosión química y estabilidad a altas temperaturas. Estas propiedades son cruciales en la producción de semiconductores, por lo que el recubrimiento cerámico de carburo de silicio se usa ampliamente en componentes clave de equipos de fabricación de semiconductores.

El papel específico que desempeña el revestimiento cerámico de carburo de silicio Vetek Semiconductor en la producción de semiconductores escomo sigue:

Mejorar la durabilidad del equipo: El revestimiento cerámico de carburo de silicio proporciona una excelente protección de la superficie para equipos de fabricación de semiconductores con su extremadamente alta dureza y resistencia al desgaste. Especialmente en entornos de proceso altamente corrosivos y de alta temperatura, como la deposición química de vapor (CVD) y el grabado por plasma, el recubrimiento cerámico de carburo de silicio puede prevenir eficazmente daños a la superficie del equipo debido a la erosión química o el desgaste físico, extendiendo así significativamente la vida útil de el equipo y reduciendo el tiempo de inactividad causado por el reemplazo y mantenimiento frecuentes.

Mejorar la pureza del proceso: En el proceso de fabricación de semiconductores, cualquier pequeña contaminación puede provocar defectos en el producto. La inercia química del recubrimiento cerámico de carburo de silicio le permite permanecer estable en condiciones extremas, evitar que el material libere partículas o impurezas y garantizar la pureza del medio ambiente durante el proceso. Esto es especialmente importante para los pasos de fabricación que requieren alta precisión y alta limpieza, como PECVD y la implantación de iones.

Optimizar la gestión térmica: En el procesamiento de semiconductores a alta temperatura, como el procesamiento térmico rápido (RTP) y los procesos de oxidación, la alta conductividad térmica del revestimiento cerámico de carburo de silicio permite una distribución uniforme de la temperatura dentro del equipo. Esto ayuda a reducir el estrés térmico y la deformación del material causada por las fluctuaciones de temperatura, mejorando así la precisión y consistencia de la fabricación del producto.

Admite entornos de procesos complejos: En procesos que requieren un control atmosférico complejo, como los procesos de grabado ICP y PSS, la estabilidad y resistencia a la oxidación del calentador de revestimiento cerámico de carburo de silicio garantizan el rendimiento estable del equipo en funcionamiento a largo plazo, lo que reduce el riesgo de degradación del material o del equipo. Daños debidos a cambios ambientales.

Semiconductores Vetekse centra en la fabricación y suministro de alto rendimiento.Revestimiento cerámico de carburo de silicioy está comprometido a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos para la industria de semiconductores.Esperamos sinceramente ser su socio a largo plazo en China..

Propiedades físicas básicas deRevestimiento cerámico de carburo de silicio:

Tiendas de revestimiento cerámico de carburo de silicio VeTek Semiconductor:

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores: