Calentador de grafito con revestimiento cerámico de carburo de silicio

Semiconductores VeTek Calentador de grafito con revestimiento cerámico de carburo de silicioCombina la excelente conductividad eléctrica y térmica del grafito con la resistencia a altas temperaturas, a la corrosión y al desgaste del revestimiento cerámico de carbono y silicio, y está diseñado para entornos hostiles de fabricación de semiconductores. 

Calentador de grafito con revestimiento cerámico de carburo de siliciose utiliza principalmente en equipos de recubrimiento al vacío (evaporación), y los métodos comúnmente utilizados son PCD (secado químico por plasma) y PVD (deposición física de vapor). Este producto ha desempeñado un papel importante en la promoción del progreso tecnológico y la mejora de la eficiencia de la producción en la industria de los semiconductores.Esperamos sinceramente seguir cooperando con usted..

El material y las características estructurales del calentador de grafito con revestimiento cerámico de carburo de silicio son los siguientes:

Sustrato de grafito: El grafito es conocido por su alta conductividad térmica y bajo coeficiente de expansión térmica. Puede responder rápidamente a los cambios de temperatura y mantener la estabilidad estructural a altas temperaturas.

Revestimiento cerámico de carbono y silicio.: El recubrimiento de SiC se recubre uniformemente sobre la superficie del grafito mediante deposición química de vapor u otros procesos avanzados. El SiC tiene una dureza extremadamente alta y resistencia a la corrosión química, lo que puede proteger el sustrato de grafito de la oxidación a alta temperatura y de ambientes corrosivos.

El diseño estructural especial del producto del calentador de grafito con revestimiento cerámico de carburo de silicio determinaLas ventajas irremplazables de este producto en el proceso de procesamiento de semiconductores.:

Calefacción eficiente y uniforme:

Conductividad térmica: La alta conductividad térmica del grafito permite que el calentador alcance y mantenga rápidamente la temperatura requerida, y el recubrimiento de SiC garantiza una distribución uniforme del calor. Esto es especialmente importante para los procesos de semiconductores que requieren un control preciso de la temperatura, como el procesamiento térmico rápido (RTP) y la deposición química de vapor (CVD).

Uniformidad de temperatura: A través de una distribución uniforme del calor, el calentador de grafito con revestimiento cerámico de carburo de silicio puede reducir eficazmente el estrés térmico y el gradiente de temperatura, garantizando la consistencia y la estabilidad de la calidad de las obleas semiconductoras durante todo el proceso de calentamiento.

Protección anticorrosión:

Resistencia química: La resistencia a la corrosión química del revestimiento de SiC permite que el calentador funcione de manera estable y durante mucho tiempo en ambientes químicos y con gases corrosivos, evitando daños al sustrato de grafito. Esta característica es particularmente crítica en procesos como la deposición química de vapor (CVD) y la deposición química de vapor mejorada con plasma (PECVD).

Resistencia a la oxidación: A altas temperaturas, el recubrimiento de SiC puede prevenir la oxidación del sustrato de grafito, extender la vida útil del calentador y reducir la frecuencia y el costo de mantenimiento del equipo.

Reducir la contaminación por partículas:

Estabilidad de la superficie: El recubrimiento de SiC no solo es resistente al desgaste, sino que también evita que las partículas se caigan de la superficie del material debido a ciclos térmicos o reacciones químicas, lo que reduce el riesgo de contaminación por partículas que puede ocurrir durante la fabricación de semiconductores y garantiza un entorno de proceso de alta limpieza.

Mejorar la confiabilidad y eficiencia del proceso:

Diseño de larga duración: Debido a la combinación de la resistencia mecánica del grafito y la resistencia al desgaste del recubrimiento de SiC, el calentador de grafito con recubrimiento cerámico de carburo de silicio puede mantener un funcionamiento de alta eficiencia durante mucho tiempo en condiciones de proceso duras, lo que mejora significativamente la confiabilidad general del equipo.

Utilización eficiente de la energía: La alta conductividad térmica del grafito y la estabilidad a alta temperatura del recubrimiento de SiC permiten que el calentador reduzca el consumo de energía al tiempo que mejora la precisión del control de temperatura, mejorando así la eficiencia general de la producción de semiconductores.

Propiedades físicas básicas deCalentador de grafito con revestimiento cerámico de carburo de silicio:

Semiconductores VeTekCalentador de grafito con revestimiento cerámico de carburo de siliciotiendas:

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores:

/otro-proceso