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China Recubrimiento de carburo de tantalio Fabricante, proveedor, fábrica
VeTek Semiconductor es un fabricante líder de materiales de recubrimiento de carburo de tantalio para la industria de semiconductores. Nuestra principal oferta de productos incluye piezas con revestimiento de carburo de tantalio CVD, piezas con revestimiento de TaC sinterizado para el crecimiento de cristales de SiC o procesos de epitaxia de semiconductores. Aprobado ISO9001, VeTek Semiconductor tiene un buen control de calidad. VeTek Semiconductor se dedica a convertirse en innovador en la industria de recubrimientos de carburo de tantalio mediante la investigación y el desarrollo continuos de tecnologías iterativas.
Los principales productos sonAnillo desertor de recubrimiento de carburo de tantalio, anillo de desviación recubierto de TaC, piezas de media luna recubiertas de TaC, disco de rotación planetario recubierto de carburo de tantalio (Aixtron G10), crisol recubierto de TaC; Anillos recubiertos de TaC; Grafito poroso recubierto de TaC; Susceptor de grafito con revestimiento de carburo de tantalio; Anillo guía recubierto de TaC; Placa recubierta de carburo de tantalio TaC; Susceptor de oblea recubierta con TaC; Anillo de revestimiento TaC; Cubierta de grafito con revestimiento TaC; Trozo recubierto de TaCetc., la pureza es inferior a 5 ppm y puede cumplir con los requisitos del cliente.
El grafito con revestimiento de TaC se crea recubriendo la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza con una fina capa de carburo de tantalio mediante un proceso patentado de deposición química de vapor (CVD). La ventaja se muestra en la siguiente imagen:
El recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) ha llamado la atención debido a su alto punto de fusión de hasta 3880 °C, excelente resistencia mecánica, dureza y resistencia a los choques térmicos, lo que lo convierte en una alternativa atractiva a los procesos de epitaxia de semiconductores compuestos con requisitos de temperatura más altos. como el sistema Aixtron MOCVD y el proceso de epitaxia LPE SiC. También tiene una amplia aplicación en el proceso de crecimiento de cristales de SiC del método PVT.
Características clave:
●Estabilidad de temperatura
●Pureza ultraalta
●Resistencia a H2, NH3, SiH4,Si
●Resistencia al stock térmico.
●Fuerte adherencia al grafito.
●Cobertura de revestimiento conformado
● Tamaño hasta 750 mm de diámetro (El único fabricante en China alcanza este tamaño)
Aplicaciones:
● Susceptor de calentamiento inductivo
● Elemento calefactor resistivo
● Escudo térmico
Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) en una sección transversal microscópica:
Parámetro del recubrimiento de carburo de tantalio semiconductor VeTek:
| Propiedades físicas del recubrimiento TaC. | |
| Densidad | 14,3 (g/cm³) |
| Emisividad específica | 0.3 |
| Coeficiente de expansión térmica | 6.3 10-6/K |
| Dureza (HK) | 2000 Hong Kong |
| Resistencia | 1×10-5Ohmios*cm |
| Estabilidad térmica | <2500℃ |
| Cambios de tamaño de grafito | -10~-20um |
| Espesor del recubrimiento | Valor típico ≥20um (35um±10um) |
Datos EDX del recubrimiento TaC：
Datos de la estructura cristalina del recubrimiento TaC:
| Elemento | Porcentaje atómico | |||
| pt. 1 | pt. 2 | pt. 3 | Promedio | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| A ellos | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Grafito poroso con revestimiento de TaC
El grafito poroso con revestimiento de TaC es un material de procesamiento de semiconductores avanzado proporcionado por VeTek Semiconductor. El grafito poroso con revestimiento de TaC combina las ventajas del grafito poroso y el revestimiento de carburo de tantalio (TaC), con buena conductividad térmica y permeabilidad a los gases. VeTek Semiconductor se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo en China.
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Cubierta de revestimiento de carburo de tantalio
VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de cubiertas de recubrimiento de carburo de tantalio en China. Nos enfocamos en proporcionar productos de carburo de tantalio de alta pureza y resistentes a altas temperaturas. Nuestra cubierta recubierta de carburo de tantalio tiene un excelente rendimiento y confiabilidad, y puede proteger eficazmente materiales en ambientes corrosivos y con temperaturas extremadamente altas. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
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Anillo deflector recubierto de TaC
El anillo deflector recubierto de TaC de VeTek Semiconductor es un componente altamente especializado diseñado para procesos de crecimiento de cristales de SiC. El recubrimiento de TaC proporciona una excelente resistencia a altas temperaturas e inercia química para hacer frente a las altas temperaturas y los ambientes corrosivos durante el proceso de crecimiento de cristales. Esto garantiza un rendimiento estable y una larga vida útil del componente, reduciendo la frecuencia de reemplazo y el tiempo de inactividad. Estamos comprometidos a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo en China.
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Tubo recubierto de carburo de tantalio para el crecimiento de cristales
VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder en tubos recubiertos de carburo de tantalio para crecimiento de cristales en China. Nos hemos especializado en recubrimientos cerámicos durante muchos años. Nuestros productos tienen una alta pureza y resistencia a altas temperaturas. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo. en China.
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Anillo recubierto de TaC para reactor epitaxial de SiC
VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador de anillos recubiertos de TaC a gran escala para reactores epitaxiales de SiC en China. Nos hemos especializado en recubrimientos de TaC durante muchos años. Nuestros productos tienen alta pureza, alta estabilidad, excelente resistencia a la corrosión y alta resistencia de unión. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
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Pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio para LPE
VeTek Semiconductor es una pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio a gran escala para el fabricante e innovador de LPE en China. Nos hemos especializado en el recubrimiento de TaC durante muchos años. Nuestros productos pueden soportar temperaturas superiores a 2000 grados Celsius y prolongar la vida útil de los consumibles. Esperamos convertirse en su socio a largo plazo en China.
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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de tantalio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Recubrimiento de carburo de tantalio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.
