Pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio para LPE

VeTek Semiconductor es una pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio a gran escala para el fabricante e innovador de LPE en China. Nos hemos especializado en el recubrimiento de TaC durante muchos años. Nuestros productos pueden soportar temperaturas superiores a 2000 grados Celsius y prolongar la vida útil de los consumibles. Esperamos convertirse en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Como fabricante profesional, VeTek Semiconductor desea ofrecerle una pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio de alta calidad para LPE.

VeTek Semiconductor es un fabricante líder profesional de SiC, recubrimiento de TaC y SiC sólido de China con alta calidad y precio razonable. Nuestra pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio para LPE se utiliza en la cámara de reacción de equipos de epitaxia horizontales y verticales para transportar sustrato, control de temperatura y calor. preservación, ventilación, protección y otras funciones, para controlar conjuntamente el espesor, el dopaje, los defectos y otras características del material del crecimiento de la capa de epitaxia de SiC dentro de la cámara de reacción.

Productos relacionados con VeTek Semiconductor: media luna superior, media luna inferior, cubierta protectora, cubierta aislante, interfaz de desviación de aire de proceso. Nuestra empresa se compromete a proporcionar a los clientes una gama completa de soluciones de componentes de cámaras de reacción recubiertas de SiC y TaC.

Parámetro del producto de la pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio para LPE

Propiedades físicas del recubrimiento TaC.
Densidad	14,3 (g/cm³)
Emisividad específica	0.3
Coeficiente de expansión térmica	6,3 10-6/K
Dureza (HK)	2000 Hong Kong
Resistencia	1×10-5 ohmios*cm
Estabilidad térmica	<2500℃
Cambios de tamaño de grafito	-10~-20um
Espesor del revestimiento	Valor típico ≥20um (35um±10um)

Taller de producción de semiconductores VeTek

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores:

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