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China Recubrimiento de carburo de tantalio Fabricante, proveedor, fábrica

VeTek Semiconductor es un fabricante líder de materiales de recubrimiento de carburo de tantalio para la industria de semiconductores. Nuestra principal oferta de productos incluye piezas con revestimiento de carburo de tantalio CVD, piezas con revestimiento de TaC sinterizado para el crecimiento de cristales de SiC o procesos de epitaxia de semiconductores. Aprobado ISO9001, VeTek Semiconductor tiene un buen control de calidad. VeTek Semiconductor se dedica a convertirse en innovador en la industria de recubrimientos de carburo de tantalio mediante la investigación y el desarrollo continuos de tecnologías iterativas.


Los principales productos sonAnillo desertor de recubrimiento de carburo de tantalio, anillo de desviación recubierto de TaC, piezas de media luna recubiertas de TaC, disco de rotación planetario recubierto de carburo de tantalio (Aixtron G10), crisol recubierto de TaC; Anillos recubiertos de TaC; Grafito poroso recubierto de TaC; Susceptor de grafito con revestimiento de carburo de tantalio; Anillo guía recubierto de TaC; Placa recubierta de carburo de tantalio TaC; Susceptor de oblea recubierta con TaC; Anillo de revestimiento TaC; Cubierta de grafito con revestimiento TaC; Trozo recubierto de TaCetc., la pureza es inferior a 5 ppm y puede cumplir con los requisitos del cliente.


El grafito con revestimiento de TaC se crea recubriendo la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza con una fina capa de carburo de tantalio mediante un proceso patentado de deposición química de vapor (CVD). La ventaja se muestra en la siguiente imagen:


Excellent properties of TaC coating graphite


El recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) ha llamado la atención debido a su alto punto de fusión de hasta 3880 °C, excelente resistencia mecánica, dureza y resistencia a los choques térmicos, lo que lo convierte en una alternativa atractiva a los procesos de epitaxia de semiconductores compuestos con requisitos de temperatura más altos. como el sistema Aixtron MOCVD y el proceso de epitaxia LPE SiC. También tiene una amplia aplicación en el proceso de crecimiento de cristales de SiC del método PVT.


Características clave:

 ●Estabilidad de temperatura

 ●Pureza ultraalta

 ●Resistencia a H2, NH3, SiH4,Si

 ●Resistencia al stock térmico.

 ●Fuerte adherencia al grafito.

 ●Cobertura de revestimiento conformado

 Tamaño hasta 750 mm de diámetro (El único fabricante en China alcanza este tamaño)


Aplicaciones:

 ●Portador de oblea

 ● Susceptor de calentamiento inductivo

 ● Elemento calefactor resistivo

 ●Disco satelital

 ●cabezal de ducha

 ●Anillo guía

 ●Receptor LED Epi

 ●Boquilla de inyección

 ●anillo de enmascaramiento

 ● Escudo térmico


Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) en una sección transversal microscópica:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parámetro del recubrimiento de carburo de tantalio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas del recubrimiento TaC.
Densidad 14,3 (g/cm³)
Emisividad específica 0.3
Coeficiente de expansión térmica 6.3 10-6/K
Dureza (HK) 2000 Hong Kong
Resistencia 1×10-5Ohmios*cm
Estabilidad térmica <2500℃
Cambios de tamaño de grafito -10~-20um
Espesor del recubrimiento Valor típico ≥20um (35um±10um)


Datos EDX del recubrimiento TaC

EDX data of TaC coating


Datos de la estructura cristalina del recubrimiento TaC:

Elemento Porcentaje atómico
pt. 1 pt. 2 pt. 3 Promedio
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
A ellos 47.90 42.59 47.63 46.04


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Anillo guía recubierto de TaC

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VeTek Semiconductor es un innovador y fabricante líder de anillos guía recubiertos de TaC en China. Nos hemos especializado en recubrimientos cerámicos durante muchos años. Los anillos guía recubiertos de TaC se utilizan principalmente para guiar y controlar el flujo de aire, mejorando el rendimiento del crecimiento del monocristal. Bienvenido a consultarnos para obtener más información.

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Disco de rotación planetaria recubierto de carburo de tantalio

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VeTek Semiconductor es un innovador y fabricante líder de discos de rotación planetaria recubiertos de carburo de tantalio en China. Nos hemos especializado en recubrimientos cerámicos durante muchos años. Nuestros productos tienen una alta pureza y resistencia a altas temperaturas. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en Porcelana.

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VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder en portadores de obleas de grafito recubierto de TaC en China. Nos hemos especializado en recubrimientos de SiC y TaC durante muchos años. Nuestro portador de obleas de grafito recubierto de TaC tiene una mayor resistencia a la temperatura y al desgaste. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de tantalio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Recubrimiento de carburo de tantalio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.
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