VeTek Semiconductor es un fabricante líder de materiales de recubrimiento de carburo de tantalio para la industria de semiconductores. Nuestra principal oferta de productos incluye piezas con revestimiento de carburo de tantalio CVD, piezas con revestimiento de TaC sinterizado para el crecimiento de cristales de SiC o procesos de epitaxia de semiconductores. Aprobado ISO9001, VeTek Semiconductor tiene un buen control de calidad. VeTek Semiconductor se dedica a convertirse en innovador en la industria de recubrimientos de carburo de tantalio mediante la investigación y el desarrollo continuos de tecnologías iterativas.
Los principales productos sonAnillo desertor de recubrimiento de carburo de tantalio, anillo de desviación recubierto de TaC, piezas de media luna recubiertas de TaC, disco de rotación planetario recubierto de carburo de tantalio (Aixtron G10), crisol recubierto de TaC; Anillos recubiertos de TaC; Grafito poroso recubierto de TaC; Susceptor de grafito con revestimiento de carburo de tantalio; Anillo guía recubierto de TaC; Placa recubierta de carburo de tantalio TaC; Susceptor de oblea recubierta con TaC; Anillo de revestimiento TaC; Cubierta de grafito con revestimiento TaC; Trozo recubierto de TaCetc., la pureza es inferior a 5 ppm y puede cumplir con los requisitos del cliente.
El grafito con revestimiento de TaC se crea recubriendo la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza con una fina capa de carburo de tantalio mediante un proceso patentado de deposición química de vapor (CVD). La ventaja se muestra en la siguiente imagen:
El recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) ha llamado la atención debido a su alto punto de fusión de hasta 3880 °C, excelente resistencia mecánica, dureza y resistencia a los choques térmicos, lo que lo convierte en una alternativa atractiva a los procesos de epitaxia de semiconductores compuestos con requisitos de temperatura más altos. como el sistema Aixtron MOCVD y el proceso de epitaxia LPE SiC. También tiene una amplia aplicación en el proceso de crecimiento de cristales de SiC del método PVT.
●Estabilidad de temperatura
●Pureza ultraalta
●Resistencia a H2, NH3, SiH4,Si
●Resistencia al stock térmico.
●Fuerte adherencia al grafito.
●Cobertura de revestimiento conformado
● Tamaño hasta 750 mm de diámetro (El único fabricante en China alcanza este tamaño)
● Susceptor de calentamiento inductivo
● Elemento calefactor resistivo
● Escudo térmico
Propiedades físicas del recubrimiento TaC. | |
Densidad | 14,3 (g/cm³) |
Emisividad específica | 0.3 |
Coeficiente de expansión térmica | 6.3 10-6/K |
Dureza (HK) | 2000 Hong Kong |
Resistencia | 1×10-5Ohmios*cm |
Estabilidad térmica | <2500℃ |
Cambios de tamaño de grafito | -10~-20um |
Espesor del recubrimiento | Valor típico ≥20um (35um±10um) |
Elemento | Porcentaje atómico | |||
pt. 1 | pt. 2 | pt. 3 | Promedio | |
CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
A ellos | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor es un innovador y fabricante líder de anillos guía recubiertos de TaC en China. Nos hemos especializado en recubrimientos cerámicos durante muchos años. Los anillos guía recubiertos de TaC se utilizan principalmente para guiar y controlar el flujo de aire, mejorando el rendimiento del crecimiento del monocristal. Bienvenido a consultarnos para obtener más información.
Leer másEnviar ConsultaVeTek Semiconductor es un innovador y fabricante líder de discos de rotación planetaria recubiertos de carburo de tantalio en China. Nos hemos especializado en recubrimientos cerámicos durante muchos años. Nuestros productos tienen una alta pureza y resistencia a altas temperaturas. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en Porcelana.
Leer másEnviar ConsultaVeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder en portadores de obleas de grafito recubierto de TaC en China. Nos hemos especializado en recubrimientos de SiC y TaC durante muchos años. Nuestro portador de obleas de grafito recubierto de TaC tiene una mayor resistencia a la temperatura y al desgaste. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
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