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China Recubrimiento de carburo de tantalio Fabricante, proveedor, fábrica
VeTek Semiconductor es un fabricante líder de materiales de recubrimiento de carburo de tantalio para la industria de semiconductores. Nuestra principal oferta de productos incluye piezas con revestimiento de carburo de tantalio CVD, piezas con revestimiento de TaC sinterizado para el crecimiento de cristales de SiC o procesos de epitaxia de semiconductores. Aprobado ISO9001, VeTek Semiconductor tiene un buen control de calidad. VeTek Semiconductor se dedica a convertirse en innovador en la industria de recubrimientos de carburo de tantalio mediante la investigación y el desarrollo continuos de tecnologías iterativas.
Los principales productos sonAnillo desertor de recubrimiento de carburo de tantalio, anillo de desviación recubierto de TaC, piezas de media luna recubiertas de TaC, disco de rotación planetario recubierto de carburo de tantalio (Aixtron G10), crisol recubierto de TaC; Anillos recubiertos de TaC; Grafito poroso recubierto de TaC; Susceptor de grafito con revestimiento de carburo de tantalio; Anillo guía recubierto de TaC; Placa recubierta de carburo de tantalio TaC; Susceptor de oblea recubierta con TaC; Anillo de revestimiento TaC; Cubierta de grafito con revestimiento TaC; Trozo recubierto de TaCetc., la pureza es inferior a 5 ppm y puede cumplir con los requisitos del cliente.
El grafito con revestimiento de TaC se crea recubriendo la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza con una fina capa de carburo de tantalio mediante un proceso patentado de deposición química de vapor (CVD). La ventaja se muestra en la siguiente imagen:
El recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) ha llamado la atención debido a su alto punto de fusión de hasta 3880 °C, excelente resistencia mecánica, dureza y resistencia a los choques térmicos, lo que lo convierte en una alternativa atractiva a los procesos de epitaxia de semiconductores compuestos con requisitos de temperatura más altos. como el sistema Aixtron MOCVD y el proceso de epitaxia LPE SiC. También tiene una amplia aplicación en el proceso de crecimiento de cristales de SiC del método PVT.
Características clave:
●Estabilidad de temperatura
●Pureza ultraalta
●Resistencia a H2, NH3, SiH4,Si
●Resistencia al stock térmico.
●Fuerte adherencia al grafito.
●Cobertura de revestimiento conformado
● Tamaño hasta 750 mm de diámetro (El único fabricante en China alcanza este tamaño)
Aplicaciones:
● Susceptor de calentamiento inductivo
● Elemento calefactor resistivo
● Escudo térmico
Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) en una sección transversal microscópica:
Parámetro del recubrimiento de carburo de tantalio semiconductor VeTek:
| Propiedades físicas del recubrimiento TaC. | |
| Densidad | 14,3 (g/cm³) |
| Emisividad específica | 0.3 |
| Coeficiente de expansión térmica | 6.3 10-6/K |
| Dureza (HK) | 2000 Hong Kong |
| Resistencia | 1×10-5Ohmios*cm |
| Estabilidad térmica | <2500℃ |
| Cambios de tamaño de grafito | -10~-20um |
| Espesor del recubrimiento | Valor típico ≥20um (35um±10um) |
Datos EDX del recubrimiento TaC：
Datos de la estructura cristalina del recubrimiento TaC:
| Elemento | Porcentaje atómico | |||
| pt. 1 | pt. 2 | pt. 3 | Promedio | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| A ellos | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Anillo de recubrimiento CVD TaC
El anillo de recubrimiento CVD TaC de VeTek Semiconductor es un componente muy ventajoso diseñado para cumplir con los exigentes requisitos de los procesos de crecimiento de cristales de carburo de silicio (SiC). El anillo de recubrimiento CVD TaC proporciona una excelente resistencia a altas temperaturas e inercia química, lo que lo convierte en una opción ideal para entornos caracterizados por temperaturas elevadas y condiciones corrosivas. Estamos comprometidos a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo. en China.
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LPE SiC EPI Media Luna
LPE SiC Epi Halfmoon de VeTek Semiconductor, un producto revolucionario diseñado para elevar los procesos de epitaxia de SiC del reactor LPE. Esta solución de vanguardia cuenta con varias características clave que garantizan un rendimiento y una eficiencia superiores en todas sus operaciones de fabricación. Esperamos establecer una cooperación a largo plazo con usted.
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Receptor LED EPI
VeTek Semiconductor es un proveedor líder de recubrimientos TaC y piezas de grafito con recubrimiento SiC. Nos especializamos en la producción de Susceptores LED EPI de última generación, esenciales para los procesos de epitaxia LED. Con un fuerte enfoque en la innovación y la calidad, ofrecemos soluciones confiables que cumplen con los estrictos requisitos de la industria LED. Contáctenos hoy para discutir sus consultas y descubrir cómo nuestros productos pueden mejorar sus procesos de fabricación.
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Susceptor MOCVD con revestimiento TaC
VeTek Semiconductor es un proveedor integral involucrado en la investigación, desarrollo, producción, diseño y venta de recubrimientos de TaC y piezas de recubrimiento de SiC. Nuestra experiencia radica en la producción de susceptores MOCVD de última generación con revestimiento TaC, que desempeñan un papel vital en el proceso de epitaxia LED. Le invitamos a discutir con nosotros consultas y más información.
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Susceptor LED UV profundo recubierto de TaC
VeTek Semiconductor es un proveedor integrado dedicado a la investigación y el desarrollo, la producción, el diseño y la venta de recubrimientos TaC. Nos especializamos en la fabricación de susceptores LED UV recubiertos con TaC de vanguardia, que son componentes cruciales en el proceso de epitaxia LED. Nuestro susceptor LED UV profundo recubierto con TaC ofrece alta conductividad térmica, alta resistencia mecánica, eficiencia de producción mejorada y protección de oblea epitaxial. Bienvenido a consultarnos.
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Media luna recubierta de TaC de carburo de tantalio
VeTek Semiconductor es el fabricante y proveedor líder en China de Halfmoon recubierto de TaC de carburo de tantalio, nos especializamos en I + D y producción, podemos controlar bien la calidad y ofrecer un precio competitivo. Le invitamos a visitar nuestra fábrica para seguir discutiendo sobre una cooperación a largo plazo.
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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de tantalio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Recubrimiento de carburo de tantalio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.
