Soporte de recubrimiento de carburo de tantalio

La función principal de VeTek SemiconductorRecubrimiento de carburo de tantalio (TaC)El apoyo es mejorar laresistencia al calor, resistencia al desgaste y resistencia a la corrosióndel sustrato recubriendo una capa de recubrimiento de carburo de tantalio, para mejorar la precisión y confiabilidad del proceso y extender la vida útil de los componentes. Es un producto de recubrimiento de alto rendimiento utilizado en el campo del procesamiento de semiconductores.

El soporte de recubrimiento de carburo de tantalio de VeTek Semiconductor tiene una dureza Mohs de casi 9 ~ 10, solo superada por el diamante. Tiene una resistencia al desgaste extremadamente fuerte y puede resistir eficazmente el desgaste de la superficie y el impacto durante el procesamiento, extendiendo así de manera efectiva la vida útil de los componentes del equipo. Combinado con su alto punto de fusión de aproximadamente 3880 °C, se utiliza a menudo para recubrir componentes clave de equipos semiconductores, como revestimientos superficiales de estructuras de soporte, equipos de tratamiento térmico, cámaras o juntas en equipos semiconductores para mejorar su resistencia al desgaste y a las altas temperaturas. resistencia.

Debido al punto de fusión extremadamente alto del carburo de tantalio de aproximadamente 3880 °C, en procesos de procesamiento de semiconductores comodeposición química de vapor (CVD)ydeposición física de vapor (PVD), El recubrimiento TaC con fuerte resistencia a altas temperaturas y resistencia a la corrosión química puede proteger eficazmente los componentes del equipo y prevenir la corrosión o daños al sustrato en ambientes extremos, brindando una protección efectiva para ambientes de alta temperatura en la fabricación de obleas. Esta característica también determina que el soporte de recubrimiento de carburo de tantalio de VeTek Semiconductor se utilice a menudo en procesos corrosivos y de grabado.

El soporte de recubrimiento de carburo de tantalio también tiene la función de reducir la contaminación por partículas. Durante el procesamiento de la oblea, el desgaste de la superficie generalmente produce contaminación por partículas, lo que afecta la calidad del producto de la oblea. Las características extremas del producto de TaC Coating, de una dureza cercana a 9-10 Mohs, pueden reducir eficazmente este desgaste, reduciendo así la generación de partículas. Combinado con la excelente conductividad térmica del revestimiento TaC (aproximadamente 21 W/m·K), puede mantener una buena conductividad térmica en condiciones de alta temperatura, mejorando así en gran medida el rendimiento y la consistencia de la fabricación de obleas.

Los principales productos de revestimiento TaC de VeTek Semiconductor incluyenCalentador de revestimiento TaC, Crisol de recubrimiento CVD TaC, Susceptor de rotación de recubrimiento TaCyRecambio de revestimiento TaC, etc., y respaldar servicios de productos personalizados. VeTek Semiconductor se compromete a proporcionar excelentes productos y soluciones técnicas para la industria de los semiconductores. Esperamos sinceramente convertirnos en su socio a largo plazo en China.

Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) en una sección transversal microscópica:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD TaC：