Calentador de revestimiento TaC

VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de calentadores de revestimiento TaC en China. Este producto tiene un punto de fusión extremadamente alto (aproximadamente 3880°C). El alto punto de fusión del calentador de revestimiento TaC le permite operar a temperaturas extremadamente altas, especialmente en el crecimiento de capas epitaxiales de nitruro de galio (GaN) en el proceso de deposición química de vapor metal orgánico (MOCVD). VeTek Semiconductor se compromete a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos para la industria de semiconductores. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

El calentador de revestimiento TaC es un elemento calefactor de alto rendimiento ampliamente utilizado en procesos de fabricación de semiconductores. Su superficie está recubierta con material de carburo de tantalio (TaC), lo que le da al calentador una excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión química y excelente conductividad térmica.

Las principales aplicaciones del calentador de revestimiento TaC en la fabricación de semiconductores incluyen:

Durante el proceso de crecimiento epitaxial del nitruro de galio (GaN), el calentador de revestimiento TaC proporciona un entorno de alta temperatura controlado con precisión para garantizar que la capa epitaxial se deposite sobre el sustrato a un ritmo uniforme y de alta calidad. Su producción de calor estable ayuda a lograr un control preciso de materiales de película delgada, mejorando así el rendimiento del dispositivo.

Además, en el proceso de deposición química de vapor organometálico (MOCVD), combinado con la resistencia a altas temperaturas y la conductividad térmica del recubrimiento de TaC, el calentador de recubrimiento de TaC generalmente se usa para calentar el gas de reacción y, al proporcionar una distribución uniforme del calor, promueve su reacción química en la superficie del sustrato, mejorando así la uniformidad de la capa epitaxial y formando una película de alta calidad.

Como líder de la industria de productos calentadores de revestimiento TaC, VeTek Semiconducto siempre respalda servicios de personalización de productos y precios de productos satisfactorios. No importa cuáles sean sus requisitos específicos, encontraremos la mejor solución para sus necesidades de calentador de revestimiento TaC y esperamos su consulta en cualquier momento.

Propiedades físicas básicas del calentador de revestimiento TaC:

Propiedades físicas del recubrimiento TaC.
Densidad	14,3 (g/cm³)
Emisividad específica	0.3
Coeficiente de expansión térmica	6,3 10-6/k
Dureza (HK)	2000 Hong Kong
Resistencia	1×10-5 ohmios*cm
Estabilidad térmica	<2500℃
Cambios de tamaño de grafito	-10~-20um
Espesor del recubrimiento	Valor típico ≥20um (35um±10um)

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