Recambio de revestimiento TaC

Semiconductores VeTekPlaca de revestimiento TaCEs un material especial muy utilizado en lasemiconductorproceso de fabricación. Combinada con su alta dureza y resistencia al desgaste, resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, bajo coeficiente de fricción y buena conductividad térmica, la placa de recubrimiento TaC desempeña un papel irreemplazable en muchos eslabones del procesamiento de semiconductores.

Generalmente las aplicaciones dePlacas recubiertas de TaCen el procesamiento de semiconductores son los siguientes:

Sustrato de crecimiento CVD/ALD: La resistencia a altas temperaturas, la estabilidad química y el bajo coeficiente de fricción de las placas recubiertas de TaC las convierten en sustratos ideales para el crecimiento de CVD/ALD. Puede proporcionar un entorno de crecimiento estable para garantizar la uniformidad y densidad de la película.

Placa de máscara de grabado: La alta dureza y resistencia a la corrosión de las placas recubiertas de TaC les permiten resistir procesos de alta energía como el grabado con plasma, como placas de máscara de grabado, protegiendo la película subyacente.

Almohadilla de pulido CMP: La resistencia al desgaste y el bajo coeficiente de fricción de las placas recubiertas de TaC las convierten en materiales ideales para las almohadillas de pulido CMP, que pueden eliminar eficazmente partículas y defectos en la superficie de la película.

Tubo de horno de alta temperatura: La resistencia a altas temperaturas y a la corrosión de las placas recubiertas de TaC les permite usarse como tubos de hornos para recocido, difusión y otros procesos a alta temperatura.

Combinado con las características del producto dePlaca de revestimiento TaC, determina que este producto desempeña un papel clave insustituible en la mejora del rendimiento del dispositivo, la extensión de la vida útil del equipo y la mejora de la eficiencia de la producción. 

Como fabricante profesional deGaN en aceptor epi de SiC, Grafito porosoyPlaca de revestimiento TaCEn China, VeTek Semiconductor siempre insiste en brindar servicios de productos personalizados y se compromete a brindar a la industria la mejor tecnología y soluciones de productos. Esperamos sinceramente su consulta adicional.

Parámetros técnicos del RECUBRIMIENTO CVD TAC：

Tiendas de repuestos para revestimiento TaC：

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores：