Placa de revestimiento TaC

La placa de revestimiento TaC de VeTek Semiconductor es un producto extraordinario que ofrece características y ventajas excepcionales. Diseñada con precisión y diseñada a la perfección, nuestra placa de recubrimiento TaC está diseñada específicamente para diversas aplicaciones en procesos de crecimiento de monocristales de carburo de silicio (SiC). Las dimensiones precisas y la construcción robusta de la placa de recubrimiento TaC facilitan su integración en los sistemas existentes, lo que garantiza una compatibilidad perfecta. y operación eficiente. Su rendimiento confiable y su recubrimiento de alta calidad contribuyen a resultados consistentes y uniformes en aplicaciones de crecimiento de cristales de SiC. Estamos comprometidos a brindar productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Puede estar seguro de comprar una placa de recubrimiento TaC en nuestra fábrica. Nuestra placa de recubrimiento TaC funciona como una parte clave del reactor semiconductor epitaxia, lo que ayuda a un excelente rendimiento de la capa epitaxial y eficiencia de crecimiento. Mejorar la calidad del producto.

Para la producción de nuevos semiconductores con entornos de preparación cada vez más duros, como la preparación de la lámina epitaxial de nitruro (GaN) del tercer grupo principal mediante deposición química de vapor organometálico (MOCVD) y la preparación de películas de crecimiento epitaxial de SiC mediante vapor químico. La deposición (CVD) es erosionada por gases como H2 y NH3 en ambientes de alta temperatura. Las capas protectoras de SiC y BN en la superficie de los portadores de crecimiento o canales de gas existentes pueden fallar debido a su participación en reacciones químicas, lo que afecta negativamente a la calidad de productos como cristales y semiconductores. Por tanto, es necesario encontrar un material con mejor estabilidad química y resistencia a la corrosión como capa protectora para mejorar la calidad de cristales, semiconductores y otros productos. El carburo de tantalio tiene excelentes propiedades físicas y químicas, debido al papel de los fuertes enlaces químicos, su estabilidad química a altas temperaturas y su resistencia a la corrosión es mucho mayor que la del SiC, BN, etc., es una gran perspectiva de aplicación de resistencia a la corrosión y excelente estabilidad térmica. .

VeTek Semiconductor cuenta con equipos de producción avanzados y un sistema de gestión de calidad perfecto, un estricto control de proceso para garantizar que el recubrimiento de TaC en lotes tenga un rendimiento uniforme, la empresa tiene capacidad de producción a gran escala para satisfacer las necesidades de los clientes en grandes cantidades de suministro y un perfecto control de la calidad. Mecanismo para garantizar la calidad de cada producto estable y confiable.

Parámetro del producto de la placa de revestimiento TaC:

Propiedades físicas del recubrimiento TaC.
Densidad	14,3 (g/cm³)
Emisividad específica	0.3
Coeficiente de expansión térmica	6,3 10-6/k
Dureza (HK)	2000 Hong Kong
Resistencia	1×10-5 ohmios*cm
Estabilidad térmica	<2500℃
Cambios de tamaño de grafito	-10~-20um
Espesor del revestimiento	Valor típico ≥20um (35um±10um)