La placa de rotación con recubrimiento TaC de VeTek Semiconductor cuenta con un excelente recubrimiento TaC. Con su excepcional recubrimiento TaC, la placa de rotación con recubrimiento TaC cuenta con una notable resistencia a altas temperaturas e inercia química, que la distinguen de las soluciones tradicionales. Estamos comprometidos a proporcionar productos de calidad a precios competitivos. Precios y esperamos ser su socio a largo plazo en China.
La placa de rotación con recubrimiento TaC de VeTek Semiconductor tiene una composición de alta pureza, un contenido de impurezas de menos de 5 ppm y una estructura densa y uniforme, que se usa ampliamente en sistemas LPE EPI, sistemas Aixtron, sistemas Nuflare, sistemas TEL CVD, sistemas VEECO y TSI. sistemas.
Excelentes propiedades mecánicas:
Dureza del recubrimiento hasta 2300HV, con excelente resistencia al desgaste.
La adhesión entre el revestimiento y el sustrato es fuerte y no es fácil que se caiga ni se pele.
El revestimiento aún puede mantener una buena estabilidad estructural a altas temperaturas.
Excelente resistencia a la corrosión:
El material TaC en sí tiene una excelente estabilidad química y resistencia a la corrosión.
Los recubrimientos de semiconductores VeTek funcionan bien en una variedad de entornos de gases agresivos.
Puede proteger eficazmente los componentes internos del equipo contra daños por corrosión.
Alto acabado superficial:
El semiconductor VeTek utiliza un proceso de recubrimiento preciso para producir el acabado deseado.
La baja rugosidad de la superficie ayuda a reducir la acumulación y deposición de partículas.
La consistencia del recubrimiento es buena:
VeTek Semiconductor tiene un sólido sistema de control de calidad para garantizar un rendimiento constante entre lotes.
El espesor del recubrimiento se distribuye uniformemente y no hay defectos locales evidentes.
Excelente rendimiento de aplicación práctica:
El recubrimiento TaC del semiconductor VeTek se utiliza ampliamente en muchos fabricantes de equipos epitaxiales conocidos en el país y en el extranjero.
Propiedades físicas del recubrimiento TaC. | |
Densidad | 14,3 (g/cm³) |
Emisividad específica | 0.3 |
Coeficiente de expansión térmica | 6,3 10-6/K |
Dureza (HK) | 2000 Hong Kong |
Resistencia | 1×10-5 ohmios*cm |
Estabilidad térmica | <2500℃ |
Cambios de tamaño de grafito | -10~-20um |
Espesor del revestimiento | Valor típico ≥20um (35um±10um) |