VeTek Semiconductor es su socio innovador en el campo del procesamiento de semiconductores. Con nuestra amplia cartera de combinaciones de materiales cerámicos de carburo de silicio de grado semiconductor, capacidades de fabricación de componentes y servicios de ingeniería de aplicaciones, podemos ayudarle a superar desafíos importantes. Las cerámicas de carburo de silicio técnicas de ingeniería se aplican ampliamente en la industria de semiconductores debido a su excepcional rendimiento material. Las cerámicas de carburo de silicio ultrapuras de VeTek Semiconductor se utilizan con frecuencia durante todo el ciclo de fabricación y procesamiento de semiconductores.
VeTek Semiconductor proporciona componentes cerámicos diseñados específicamente para los requisitos de difusión por lotes y LPCVD, que incluyen:
• Deflectores y soportes
• Inyectores
• Revestimientos y tubos de proceso
• Paletas voladizas de carburo de silicio
• Botes de oblea y pedestales
Paleta voladiza de SiC Tubos de proceso de SiC Tubo de proceso de carburo de silicio Barco de oblea vertical de SiC Barco de oblea horizontal de SiC Barco oblea cuadrado horizontal SiC Barco de oblea SiC LPCVD Barco de placa horizontal de SiC Barco de oblea redondo de SiC
Minimice la contaminación y el mantenimiento no programado con componentes de alta pureza diseñados para los rigores del procesamiento de grabado con plasma, que incluyen:
Anillos de enfoque
Boquillas
Escudos
Cabezales de ducha
Ventanas / Tapas
Otros componentes personalizados
VeTek Semiconductor proporciona componentes de materiales avanzados diseñados para aplicaciones de procesamiento térmico de alta temperatura en la industria de los semiconductores. Estas aplicaciones abarcan RTP, procesos Epi, difusión, oxidación y recocido. Nuestras cerámicas técnicas están diseñadas para resistir choques térmicos, brindando un rendimiento confiable y consistente. Con los componentes de VeTek Semiconductor, los fabricantes de semiconductores pueden lograr un procesamiento térmico eficiente y de alta calidad, contribuyendo al éxito general de la producción de semiconductores.
• Difusores
• Aisladores
• Susceptores
• Otros componentes térmicos personalizados
Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado | |
Propiedad | Valor típico |
Temperatura de trabajo (°C) | 1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor) |
Contenido de SiC/SiC | > 99,96% |
Contenido de Si/Si libre | <0,1% |
Densidad a Granel | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosidad aparente | < 16% |
Fuerza comprensiva | > 600MPa |
Resistencia a la flexión en frío | 80-90 MPa (20°C) |
Resistencia a la flexión en caliente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansión térmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Conductividad térmica a 1200°C | 23 W/m·K |
Modulos elasticos | 240 GPa |
Resistencia al choque térmico | Extremadamente bueno |
VeTek Semiconductor proporciona tubos de proceso de SiC de alto rendimiento para la fabricación de semiconductores. Nuestros tubos de proceso de SiC destacan en procesos de oxidación y difusión. Con calidad y mano de obra superiores, estos tubos ofrecen estabilidad a altas temperaturas y conductividad térmica para un procesamiento eficiente de semiconductores. Ofrecemos precios competitivos y buscamos ser su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaLa paleta voladiza de SiC de VeTek Semiconductor es un producto de muy alto rendimiento. Nuestra paleta voladiza de SiC se utiliza generalmente en hornos de tratamiento térmico para manipular y soportar obleas de silicio, deposición química de vapor (CVD) y otros procesos de procesamiento en procesos de fabricación de semiconductores. La estabilidad a alta temperatura y la alta conductividad térmica del material de SiC garantizan una alta eficiencia y confiabilidad en el proceso de procesamiento de semiconductores. Estamos comprometidos a ofrecer productos de alta calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaVeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional en China de obleas de carburo de silicio para hornos horizontales, con años de experiencia en I+D y producción, puede controlar bien la calidad y ofrecer un precio competitivo. Puede estar seguro de comprarnos el barco de oblea de carburo de silicio para horno horizontal.
Leer másEnviar ConsultaVeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional en China de obleas de carburo de silicio recubiertas de SiC, con años de experiencia en I+D y producción, puede controlar bien la calidad y ofrecer un precio competitivo. Bienvenido a visitar nuestra fábrica y tener más conversaciones sobre la cooperación.
Leer másEnviar ConsultaLa paleta voladiza de carburo de silicio de VeTek Semiconductor es un componente importante en el proceso de fabricación de semiconductores, especialmente adecuada para hornos de difusión o hornos LPCVD en procesos de alta temperatura como difusión y RTP. Nuestra paleta voladiza de carburo de silicio está cuidadosamente diseñada y fabricada con excelente resistencia a altas temperaturas y resistencia mecánica, y puede transportar obleas de manera segura y confiable al tubo de proceso en duras condiciones de proceso para diversos procesos de alta temperatura, como difusión y RTP. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaLos portadores de obleas de carburo de silicio de alta pureza VeTek Semiconductor son componentes importantes en el procesamiento de semiconductores, diseñados para sostener y transportar de forma segura obleas de silicio delicadas, desempeñando un papel clave en todas las etapas de fabricación. Los portadores de obleas de carburo de silicio de alta pureza de VeTek Semiconductor están cuidadosamente diseñados y fabricados para garantizar un excelente rendimiento y confiabilidad. VeTek Semiconductor se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo en China.
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