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China Cerámica de carburo de silicio Fabricante, proveedor, fábrica

VeTek Semiconductor es su socio innovador en el campo del procesamiento de semiconductores. Con nuestra amplia cartera de combinaciones de materiales cerámicos de carburo de silicio de grado semiconductor, capacidades de fabricación de componentes y servicios de ingeniería de aplicaciones, podemos ayudarle a superar desafíos importantes. Las cerámicas de carburo de silicio técnicas de ingeniería se aplican ampliamente en la industria de semiconductores debido a su excepcional rendimiento material. Las cerámicas de carburo de silicio ultrapuras de VeTek Semiconductor se utilizan con frecuencia durante todo el ciclo de fabricación y procesamiento de semiconductores.


DIFUSIÓN Y PROCESAMIENTO LPCVD

VeTek Semiconductor proporciona componentes cerámicos diseñados específicamente para los requisitos de difusión por lotes y LPCVD, que incluyen:

• Deflectores y soportes
• Inyectores
• Revestimientos y tubos de proceso
• Paletas voladizas de carburo de silicio
• Botes de oblea y pedestales


COMPONENTES DEL PROCESO DE GRABADO

Minimice la contaminación y el mantenimiento no programado con componentes de alta pureza diseñados para los rigores del procesamiento de grabado con plasma, que incluyen:

Anillos de enfoque

Boquillas

Escudos

Cabezales de ducha

Ventanas / Tapas

Otros componentes personalizados


PROCESAMIENTO TÉRMICO RÁPIDO Y COMPONENTES DEL PROCESO EPITAXIAL

VeTek Semiconductor proporciona componentes de materiales avanzados diseñados para aplicaciones de procesamiento térmico de alta temperatura en la industria de los semiconductores. Estas aplicaciones abarcan RTP, procesos Epi, difusión, oxidación y recocido. Nuestras cerámicas técnicas están diseñadas para resistir choques térmicos, brindando un rendimiento confiable y consistente. Con los componentes de VeTek Semiconductor, los fabricantes de semiconductores pueden lograr un procesamiento térmico eficiente y de alta calidad, contribuyendo al éxito general de la producción de semiconductores.

• Difusores

• Aisladores

• Susceptores

• Otros componentes térmicos personalizados


Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado
Propiedad Valor típico
Temperatura de trabajo (°C) 1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor)
Contenido de SiC/SiC > 99,96%
Contenido de Si/Si libre <0,1%
Densidad a Granel 2,60-2,70 g/cm3
Porosidad aparente < 16%
Fuerza comprensiva > 600MPa
Resistencia a la flexión en frío 80-90 MPa (20°C)
Resistencia a la flexión en caliente 90-100MPa (1400°C)
Expansión térmica @1500°C 4,70 10-6/°C
Conductividad térmica a 1200°C 23 W/m·K
Modulos elasticos 240 GPa
Resistencia al choque térmico Extremadamente bueno


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Tubo de proceso de SiC

Tubo de proceso de SiC

VeTek Semiconductor proporciona tubos de proceso de SiC de alto rendimiento para la fabricación de semiconductores. Nuestros tubos de proceso de SiC destacan en procesos de oxidación y difusión. Con calidad y mano de obra superiores, estos tubos ofrecen estabilidad a altas temperaturas y conductividad térmica para un procesamiento eficiente de semiconductores. Ofrecemos precios competitivos y buscamos ser su socio a largo plazo en China.

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Paleta voladiza de SiC

Paleta voladiza de SiC

La paleta voladiza de SiC de VeTek Semiconductor es un producto de muy alto rendimiento. Nuestra paleta voladiza de SiC se utiliza generalmente en hornos de tratamiento térmico para manipular y soportar obleas de silicio, deposición química de vapor (CVD) y otros procesos de procesamiento en procesos de fabricación de semiconductores. La estabilidad a alta temperatura y la alta conductividad térmica del material de SiC garantizan una alta eficiencia y confiabilidad en el proceso de procesamiento de semiconductores. Estamos comprometidos a ofrecer productos de alta calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Barco de oblea de carburo de silicio para horno horizontal

Barco de oblea de carburo de silicio para horno horizontal

VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional en China de obleas de carburo de silicio para hornos horizontales, con años de experiencia en I+D y producción, puede controlar bien la calidad y ofrecer un precio competitivo. Puede estar seguro de comprarnos el barco de oblea de carburo de silicio para horno horizontal.

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Barco de oblea de carburo de silicio recubierto de SiC

Barco de oblea de carburo de silicio recubierto de SiC

VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional en China de obleas de carburo de silicio recubiertas de SiC, con años de experiencia en I+D y producción, puede controlar bien la calidad y ofrecer un precio competitivo. Bienvenido a visitar nuestra fábrica y tener más conversaciones sobre la cooperación.

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Paleta voladiza de carburo de silicio

Paleta voladiza de carburo de silicio

La paleta voladiza de carburo de silicio de VeTek Semiconductor es un componente importante en el proceso de fabricación de semiconductores, especialmente adecuada para hornos de difusión o hornos LPCVD en procesos de alta temperatura como difusión y RTP. Nuestra paleta voladiza de carburo de silicio está cuidadosamente diseñada y fabricada con excelente resistencia a altas temperaturas y resistencia mecánica, y puede transportar obleas de manera segura y confiable al tubo de proceso en duras condiciones de proceso para diversos procesos de alta temperatura, como difusión y RTP. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Portador de oblea de carburo de silicio de alta pureza

Portador de oblea de carburo de silicio de alta pureza

Los portadores de obleas de carburo de silicio de alta pureza VeTek Semiconductor son componentes importantes en el procesamiento de semiconductores, diseñados para sostener y transportar de forma segura obleas de silicio delicadas, desempeñando un papel clave en todas las etapas de fabricación. Los portadores de obleas de carburo de silicio de alta pureza de VeTek Semiconductor están cuidadosamente diseñados y fabricados para garantizar un excelente rendimiento y confiabilidad. VeTek Semiconductor se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo en China.

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Como fabricante y proveedor profesional Cerámica de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Cerámica de carburo de silicio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.
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