VeTek Semiconductor es su socio innovador en el campo del procesamiento de semiconductores. Con nuestra amplia cartera de combinaciones de materiales cerámicos de carburo de silicio de grado semiconductor, capacidades de fabricación de componentes y servicios de ingeniería de aplicaciones, podemos ayudarle a superar desafíos importantes. Las cerámicas de carburo de silicio técnicas de ingeniería se aplican ampliamente en la industria de semiconductores debido a su excepcional rendimiento material. Las cerámicas de carburo de silicio ultrapuras de VeTek Semiconductor se utilizan con frecuencia durante todo el ciclo de fabricación y procesamiento de semiconductores.
VeTek Semiconductor proporciona componentes cerámicos diseñados específicamente para los requisitos de difusión por lotes y LPCVD, que incluyen:
• Deflectores y soportes
• Inyectores
• Revestimientos y tubos de proceso
• Paletas voladizas de carburo de silicio
• Botes de oblea y pedestales
Paleta voladiza de SiC Tubos de proceso de SiC Tubo de proceso de carburo de silicio Barco de oblea vertical de SiC Barco de oblea horizontal de SiC Barco oblea cuadrado horizontal SiC Barco de oblea SiC LPCVD Barco de placa horizontal de SiC Barco de oblea redondo de SiC
Minimice la contaminación y el mantenimiento no programado con componentes de alta pureza diseñados para los rigores del procesamiento de grabado con plasma, que incluyen:
Anillos de enfoque
Boquillas
Escudos
Cabezales de ducha
Ventanas / Tapas
Otros componentes personalizados
VeTek Semiconductor proporciona componentes de materiales avanzados diseñados para aplicaciones de procesamiento térmico de alta temperatura en la industria de los semiconductores. Estas aplicaciones abarcan RTP, procesos Epi, difusión, oxidación y recocido. Nuestras cerámicas técnicas están diseñadas para resistir choques térmicos, brindando un rendimiento confiable y consistente. Con los componentes de VeTek Semiconductor, los fabricantes de semiconductores pueden lograr un procesamiento térmico eficiente y de alta calidad, contribuyendo al éxito general de la producción de semiconductores.
• Difusores
• Aisladores
• Susceptores
• Otros componentes térmicos personalizados
Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado | |
Propiedad | Valor típico |
Temperatura de trabajo (°C) | 1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor) |
Contenido de SiC/SiC | > 99,96% |
Contenido de Si/Si libre | <0,1% |
Densidad a Granel | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosidad aparente | < 16% |
Fuerza comprensiva | > 600MPa |
Resistencia a la flexión en frío | 80-90 MPa (20°C) |
Resistencia a la flexión en caliente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansión térmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Conductividad térmica a 1200°C | 23 W/m·K |
Modulos elasticos | 240 GPa |
Resistencia al choque térmico | Extremadamente bueno |
La oblea de carburo de silicio de alta pureza de VeTek Semiconductor está hecha de material de carburo de silicio extremadamente puro con excelente estabilidad térmica, resistencia mecánica y resistencia química. El barco de oblea de carburo de silicio de alta pureza se utiliza en aplicaciones de zonas calientes en la fabricación de semiconductores, especialmente en entornos de alta temperatura, y desempeña un papel importante en la protección de obleas, el transporte de materiales y el mantenimiento de procesos estables. VeTek Semiconductor continuará trabajando arduamente para innovar y mejorar el rendimiento de Silicon Carbide Wafer Boat de alta pureza para satisfacer las necesidades cambiantes de la fabricación de semiconductores. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en Chi......
Leer másEnviar ConsultaVeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional dedicado a proporcionar polvo de carburo de silicio ultrapuro de alta calidad para el crecimiento de cristales. Con una pureza de hasta el 99,999 % en peso y niveles extremadamente bajos de impurezas de nitrógeno, boro, aluminio y otros contaminantes, está diseñado específicamente para mejorar las propiedades semiaislantes del carburo de silicio de alta pureza. ¡Bienvenido a consultar y cooperar con nosotros!
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