VeTek Semiconductor es su socio innovador en el campo del procesamiento de semiconductores. Con nuestra amplia cartera de combinaciones de materiales cerámicos de carburo de silicio de grado semiconductor, capacidades de fabricación de componentes y servicios de ingeniería de aplicaciones, podemos ayudarle a superar desafíos importantes. Las cerámicas de carburo de silicio técnicas de ingeniería se aplican ampliamente en la industria de semiconductores debido a su excepcional rendimiento material. Las cerámicas de carburo de silicio ultrapuras de VeTek Semiconductor se utilizan con frecuencia durante todo el ciclo de fabricación y procesamiento de semiconductores.
VeTek Semiconductor proporciona componentes cerámicos diseñados específicamente para los requisitos de difusión por lotes y LPCVD, que incluyen:
• Deflectores y soportes
• Inyectores
• Revestimientos y tubos de proceso
• Paletas voladizas de carburo de silicio
• Botes de oblea y pedestales
Paleta voladiza de SiC Tubos de proceso de SiC Tubo de proceso de carburo de silicio Barco de oblea vertical de SiC Barco de oblea horizontal de SiC Barco oblea cuadrado horizontal SiC Barco de oblea SiC LPCVD Barco de placa horizontal de SiC Barco de oblea redondo de SiC
Minimice la contaminación y el mantenimiento no programado con componentes de alta pureza diseñados para los rigores del procesamiento de grabado con plasma, que incluyen:
Anillos de enfoque
Boquillas
Escudos
Cabezales de ducha
Ventanas / Tapas
Otros componentes personalizados
VeTek Semiconductor proporciona componentes de materiales avanzados diseñados para aplicaciones de procesamiento térmico de alta temperatura en la industria de los semiconductores. Estas aplicaciones abarcan RTP, procesos Epi, difusión, oxidación y recocido. Nuestras cerámicas técnicas están diseñadas para resistir choques térmicos, brindando un rendimiento confiable y consistente. Con los componentes de VeTek Semiconductor, los fabricantes de semiconductores pueden lograr un procesamiento térmico eficiente y de alta calidad, contribuyendo al éxito general de la producción de semiconductores.
• Difusores
• Aisladores
• Susceptores
• Otros componentes térmicos personalizados
Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado | |
Propiedad | Valor típico |
Temperatura de trabajo (°C) | 1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor) |
Contenido de SiC/SiC | > 99,96% |
Contenido de Si/Si libre | <0,1% |
Densidad a Granel | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosidad aparente | < 16% |
Fuerza comprensiva | > 600MPa |
Resistencia a la flexión en frío | 80-90 MPa (20°C) |
Resistencia a la flexión en caliente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansión térmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Conductividad térmica a 1200°C | 23 W/m·K |
Modulos elasticos | 240 GPa |
Resistencia al choque térmico | Extremadamente bueno |
VeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de paletas voladizas de SiC de alta pureza en China. Las paletas voladizas de SiC de alta pureza se utilizan comúnmente en hornos de difusión de semiconductores como plataformas de carga o transferencia de obleas. VeTek Semiconductor se compromete a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos para la industria de semiconductores. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaComo fabricante y proveedor profesional de Pedestal y oblea de columna vertical en China, el Pedestal y oblea de columna vertical de Vetek Semiconductor está hecho de materiales cerámicos de cuarzo o silicio (SiC) de alta pureza, con excelente resistencia a altas temperaturas, estabilidad química y resistencia mecánica. , y es un componente central indispensable en el proceso de fabricación de semiconductores. Bienvenido a su consulta adicional.
Leer másEnviar ConsultaVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat es un equipo avanzado para el procesamiento de semiconductores. La estructura del producto de Contiguous Wafer Boat está cuidadosamente diseñada para garantizar un procesamiento y producción eficientes de obleas de precisión. Vetek Semiconductor se compromete a proporcionar excelente tecnología y soluciones de productos para la industria de semiconductores. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaVeTek Semiconductor es un fabricante chino profesional de oblea aislante de silicio, base planetaria ALD y base de grafito recubierta con TaC. La oblea aislante de silicio de VeTek Semiconductor es un importante material de sustrato semiconductor y sus excelentes características de producto lo hacen desempeñar un papel clave en aplicaciones de RF, alta integración y alto rendimiento, baja potencia. Esperamos seguir cooperando con usted.
Leer másEnviar ConsultaVeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional de anillo guía recubierto de TaC, soporte de oblea horizontal de SiC y susceptores recubiertos de SiC en China. Estamos comprometidos a brindar soporte técnico perfecto y soluciones de productos definitivas para la industria de semiconductores. Bienvenido a contactarnos.
Leer másEnviar ConsultaEl SiC Wafer Boat de VeTek Semiconductor es un producto de muy alto rendimiento. Nuestro SiC Wafer Boat se utiliza generalmente en hornos de difusión y oxidación de semiconductores para garantizar que la temperatura se distribuya uniformemente en la oblea y mejorar la calidad del procesamiento de la oblea de silicio. La estabilidad a alta temperatura y la alta conductividad térmica de los materiales de SiC garantizan un procesamiento de semiconductores eficiente y fiable. Estamos comprometidos a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo en China.
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