El SiC Wafer Boat de VeTek Semiconductor es un producto de muy alto rendimiento. Nuestro SiC Wafer Boat se utiliza generalmente en hornos de difusión y oxidación de semiconductores para garantizar que la temperatura se distribuya uniformemente en la oblea y mejorar la calidad del procesamiento de la oblea de silicio. La estabilidad a alta temperatura y la alta conductividad térmica de los materiales de SiC garantizan un procesamiento de semiconductores eficiente y fiable. Estamos comprometidos a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo en China.
La siguiente es la introducción del SiC Wafer Boat de alta calidad de VeTek Semiconductor, con la esperanza de ayudarlo a comprender mejor SiC Wafer Boat. ¡Bienvenidos clientes nuevos y antiguos a continuar cooperando con nosotros para crear un futuro mejor!
Los barcos de oblea cuadrados horizontales de SiC sirven como componentes críticos en los procesos de difusión a alta temperatura y funcionan como soportes de oblea. Estos barcos desempeñan un papel vital en el manejo seguro y eficiente de obleas delicadas durante el procesamiento.
Resistencia a altas temperaturas: la embarcación debe demostrar una resistencia excepcional a altas temperaturas para soportar los duros entornos del procesamiento a alta temperatura.
Estabilidad química a altas temperaturas: Mantener la integridad estructural y la composición química en condiciones extremas de alta temperatura garantiza la pureza del proceso.
Rendimiento libre de partículas: La embarcación debe estar libre de generación de partículas o contaminación para salvaguardar la calidad de las obleas procesadas.
Especificaciones versátiles: Vetek Semiconductor ofrece una gama de especificaciones estándar y brinda servicios personalizados para cumplir con requisitos específicos.
Calidad y velocidad: Vetek Semiconductor garantiza productos de alta calidad y entrega rápida, satisfaciendo las demandas de industrias de ritmo rápido.
Experiencia en materiales: aprovechar el material denso de carburo de silicio recristalizado garantiza un rendimiento superior y la longevidad de las embarcaciones.
Umbral de alta temperatura: los barcos Vetek Semiconductor cuentan con una temperatura máxima de funcionamiento de 1600 °C, adecuada para los procesos de alta temperatura más exigentes.
Rentabilidad: las embarcaciones Vetek Semiconductor ofrecen una relación coste-rendimiento altamente competitiva y ofrecen una buena relación calidad-precio.
Durabilidad: Con una larga vida útil, los barcos Vetek Semiconductor brindan confiabilidad y consistencia en los procesos de manipulación de obleas.
Vetek Semiconductor se destaca en el mercado por su compromiso con la calidad, opciones de personalización, innovación de materiales, capacidades de alta temperatura, rentabilidad y longevidad, lo que lo convierte en la opción preferida de los fabricantes de semiconductores a nivel mundial.
Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado | |
Propiedad | Valor típico |
Temperatura de trabajo (°C) | 1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor) |
Contenido de SiC | > 99,96% |
Contenido gratuito de Si | <0,1% |
Densidad a Granel | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosidad aparente | < 16% |
Fuerza comprensiva | > 600MPa |
Resistencia a la flexión en frío | 80-90 MPa (20°C) |
Resistencia a la flexión en caliente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansión térmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Conductividad térmica @1200°C | 23 W/m·K |
Modulos elasticos | 240 GPa |
Resistencia al choque térmico | Extremadamente bueno |