VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional en China de obleas de carburo de silicio recubiertas de SiC, con años de experiencia en I+D y producción, puede controlar bien la calidad y ofrecer un precio competitivo. Bienvenido a visitar nuestra fábrica y tener más conversaciones sobre la cooperación.
VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor de China que produce principalmente obleas de carburo de silicio recubiertas de SiC con muchos años de experiencia. Esperamos construir una relación comercial con usted. El barco de oblea de carburo de silicio recubierto de SiC se utiliza en hornos de difusión de semiconductores para transportar las obleas para diversos procesos de alta temperatura, como la implantación, difusión y recocido de iones. Puede proporcionar un ambiente estable para las obleas, asegurando uniformidad de temperatura y consistencia durante el procesamiento.
Las obleas de carburo de silicio recubiertas de SiC tienen mayor resistencia al calor y estabilidad química, lo que les permite operar a temperaturas más altas y proporcionar una vida útil más larga. Además, tienen tasas de evaporación de material y tasas de adsorción de gas más bajas, lo que ayuda a reducir el impacto de las impurezas en el procesamiento de obleas.
Podemos fabricar diferentes tipos de botes tipo oblea de carburo de silicio, como botes tipo oblea horizontales, botes tipo oblea vertical y cualquier otro tipo de bote personalizado.
1.Estabilidad a altas temperaturas
2.Inercia química
3.Bajo contenido de impurezas
4.Conductividad térmica
Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado | |
Propiedad | Valor típico |
Temperatura de trabajo (°C) | 1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor) |
Contenido de SiC | > 99,96% |
Contenido gratuito de Si | <0,1% |
Densidad a Granel | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosidad aparente | < 16% |
Fuerza comprensiva | > 600MPa |
Resistencia a la flexión en frío | 80-90 MPa (20°C) |
Resistencia a la flexión en caliente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansión térmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Conductividad térmica a 1200°C | 23 W/m·K |
Modulos elasticos | 240 GPa |
Resistencia al choque térmico | Extremadamente bueno |