Tubo de proceso de SiC

VeTek Semiconductor proporciona tubos de proceso de SiC de alto rendimiento para la fabricación de semiconductores. Nuestros tubos de proceso de SiC destacan en procesos de oxidación y difusión. Con calidad y mano de obra superiores, estos tubos ofrecen estabilidad a altas temperaturas y conductividad térmica para un procesamiento eficiente de semiconductores. Ofrecemos precios competitivos y buscamos ser su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Semiconductores VeTektambién es líder en ChinaCVD SiCyTaCfabricante, proveedor y exportador. Nos adherimos a la búsqueda de una calidad perfecta de los productos, de modo que muchos clientes hayan satisfecho nuestros tubos de proceso de SiC.Diseño extremo, materias primas de calidad, alto rendimiento y precio competitivo.son lo que todo cliente quiere y eso también es lo que podemos ofrecerle. Por supuesto, también es fundamental nuestro perfecto servicio postventa. Si está interesado en nuestros repuestos para servicios de semiconductores, puede consultarnos ahora, ¡le responderemos a tiempo!

El tubo de proceso de SiC semiconductor VeTek es un componente versátil ampliamente empleado en la fabricación de dispositivos semiconductores, fotovoltaicos y microelectrónicos por suatributos sobresalientes como estabilidad a altas temperaturas, resistencia química y conductividad térmica superior. Estas cualidades lo convierten en la opción preferida para procesos rigurosos de alta temperatura, lo que garantiza una distribución constante del calor y un entorno químico estable que mejora significativamente la eficiencia de fabricación y la calidad del producto.

El tubo de proceso SiC de VeTek Semiconductor es reconocido por su rendimiento excepcional, comúnmenteUtilizado en oxidación, difusión, recocido., yquímicodeposición de vapor(ECV) procesosdentro de la fabricación de semiconductores. Centrándose en una excelente artesanía y calidad del producto, nuestro tubo de proceso de SiC garantiza un procesamiento de semiconductores eficiente y confiable, aprovechando la estabilidad a altas temperaturas y la conductividad térmica del material de SiC. Comprometidos a ofrecer productos de primer nivel a precios competitivos, aspiramos a ser su socio confiable a largo plazo en China.

Somos la única planta de SiC en China con una pureza del 99,96%, que se puede utilizar directamente para el contacto con obleas y proporcionarRecubrimiento de carburo de silicio CVDpara reducir el contenido de impurezas amenos de 5 ppm.

Parámetro del producto del tubo de proceso de SiC:

Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado
Ppropiedad	Valor típico
Temperatura de trabajo (°C)	1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor)
Contenido de SiC	> 99,96%
Contenido gratuito de Si	<0,1%
densidad aparente	2,60~2,70 g/cm3³
Porosidad aparente	< 16%
Fuerza de compresión	> 600MPa
Resistencia a la flexión en frío	80~90MPa (20°C)
Resistencia a la flexión en caliente	90~100MPa (1400°C)
Expansión térmica @1500°C	4.70 10^-6/°C
Conductividad térmica a 1200°C	23 W/m·K
módulo elástico	240 GPa
Resistencia al choque térmico	Extremadamente bueno