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Portador de oblea de carburo de silicio de alta pureza
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Portador de oblea de carburo de silicio de alta pureza

Los portadores de obleas de carburo de silicio de alta pureza VeTek Semiconductor son componentes importantes en el procesamiento de semiconductores, diseñados para sostener y transportar de forma segura obleas de silicio delicadas, desempeñando un papel clave en todas las etapas de fabricación. Los portadores de obleas de carburo de silicio de alta pureza de VeTek Semiconductor están cuidadosamente diseñados y fabricados para garantizar un excelente rendimiento y confiabilidad. VeTek Semiconductor se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

VeTek Semiconductor es un fabricante líder profesional de portadores de obleas de carburo de silicio de alta pureza en China con alta calidad y precio razonable. Bienvenido a contactarnos.

El portador de obleas de carburo de silicio de alta pureza de VeTek Semiconductor es un portador diseñado para múltiples obleas para maximizar la eficiencia del espacio dentro de la cámara de proceso. Estos portadores de oblea de carburo de silicio de alta pureza suelen ser rectangulares o cilíndricos, y cada portador tiene ranuras o ranuras mecanizadas con precisión que están separadas entre sí para sujetar firmemente una sola oblea en posición vertical. Los portadores de obleas de carburo de silicio de alta pureza tienen una excelente resistencia a altas temperaturas, productos químicos corrosivos y estrés mecánico, lo que los hace ideales para proteger las obleas de posibles daños. Están fabricados con carburo de silicio (SiC) de alta pureza para garantizar la integridad y seguridad de las obleas durante el procesamiento.

Los portadores de obleas de carburo de silicio de alta pureza desempeñan un papel vital en procesos complejos como la difusión, RTP y campos térmicos, y sirven como un portador estable para que las obleas logren una transferencia perfecta entre diferentes equipos y etapas. Su estructura vertical minimiza el espacio en la cámara de proceso, optimiza el rendimiento de producción y puede manejar eficientemente grandes lotes de obleas. Los portadores de obleas de carburo de silicio de alta pureza son conocidos por su excelente resistencia a las altas temperaturas, la corrosión y la resistencia mecánica para proteger las obleas de posibles daños.

El portador de obleas de carburo de silicio de alta pureza de VeTek Semiconductor está hecho de carburo de silicio (SiC) de alta pureza y tiene una excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión química y resistencia mecánica para proteger la integridad de las obleas en entornos hostiles. Su estructura cuidadosamente diseñada y sus ranuras procesadas con precisión garantizan que las obleas estén colocadas firmemente para satisfacer las necesidades del procesamiento de alta precisión.

VeTek Semiconductor se compromete a brindar a los clientes productos de alta calidad y soporte técnico confiable. Ya sea en el crecimiento de obleas, difusión, deposición de películas delgadas u otros procesos críticos, el portador de obleas de carburo de silicio de alta pureza de VeTek Semiconductor puede desempeñar un papel importante para garantizar la estabilidad y consistencia del proceso de fabricación. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.


Parámetro del producto del portador de oblea de carburo de silicio de alta pureza

Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado
Propiedad Valor típico
Temperatura de trabajo (°C) 1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor)
Contenido de SiC > 99,96%
Contenido gratuito de Si <0,1%
Densidad a Granel 2,60-2,70 g/cm3
Porosidad aparente < 16%
Fuerza comprensiva > 600MPa
Resistencia a la flexión en frío 80-90 MPa (20°C)
Resistencia a la flexión en caliente 90-100MPa (1400°C)
Expansión térmica @1500°C 4,70 10-6/°C
Conductividad térmica a 1200°C 23 W/m·K
Modulos elasticos 240 GPa
Resistencia al choque térmico Extremadamente bueno


Taller de producción de semiconductores VeTek


Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores:


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