VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional en China de obleas de carburo de silicio para hornos horizontales, con años de experiencia en I+D y producción, puede controlar bien la calidad y ofrecer un precio competitivo. Puede estar seguro de comprarnos el barco de oblea de carburo de silicio para horno horizontal.
El fabricante chino VeTek Semiconductor ofrece oblea de carburo de silicio de alta calidad para horno horizontal. Compre un bote de oblea de carburo de silicio para horno horizontal que es de alta calidad directamente de fábrica a bajo precio. El bote de oblea de carburo de silicio para horno horizontal se utiliza en tubos de horno para cargar y transferir obleas durante tratamientos de alta temperatura. Debido a las excelentes propiedades de los materiales de carburo de silicio, como la resistencia a altas temperaturas, la resistencia a la corrosión química y la estabilidad térmica, se utilizan ampliamente en diversos procesos de tratamiento térmico, como difusión, oxidación, CVD y recocido.
1. Alta dureza y resistencia al desgaste: el carburo de silicio tiene una dureza superada solo por el diamante, lo que lo hace altamente resistente al desgaste. Esto permite que las embarcaciones de carburo de silicio resistan fricciones e impactos mecánicos repetidos, lo que prolonga su vida útil.
2. Resistencia a altas temperaturas: el carburo de silicio tiene un punto de fusión de 2730 °C, lo que hace que las embarcaciones de carburo de silicio sean adecuadas para entornos de alta temperatura y diversos procesos de fabricación de semiconductores, como la oxidación y difusión a alta temperatura.
3. Bajo coeficiente de expansión térmica: el carburo de silicio tiene un bajo coeficiente de expansión térmica, lo que ayuda a mantener la estabilidad dimensional a altas temperaturas, evitando la deformación del barco y afectando la precisión del procesamiento de las obleas.
4. Buena estabilidad química: el carburo de silicio es resistente a la mayoría de los productos químicos y no reacciona con soluciones ácidas y alcalinas comunes, lo que garantiza la seguridad y limpieza de las obleas.
Podemos fabricar diferentes tipos de botes tipo oblea de carburo de silicio, como botes tipo oblea horizontales, botes tipo oblea vertical y cualquier otro tipo de bote personalizado.
Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado | |
Propiedad | Valor típico |
Temperatura de trabajo (°C) | 1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor) |
Contenido de SiC | > 99,96% |
Contenido gratuito de Si | <0,1% |
Densidad a Granel | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosidad aparente | < 16% |
Fuerza comprensiva | > 600MPa |
Resistencia a la flexión en frío | 80-90 MPa (20°C) |
Resistencia a la flexión en caliente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansión térmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Conductividad térmica a 1200°C | 23 W/m·K |
Modulos elasticos | 240 GPa |
Resistencia al choque térmico | Extremadamente bueno |
Los barcos de oblea de carburo de silicio para hornos horizontales encuentran amplias aplicaciones en las industrias fotovoltaica y de semiconductores:
Limpieza y grabado de obleas
Difusión y oxidación.
Galvanoplastia y grabado
Pulido Mecánico Químico (CMP)
Tratamiento térmico
Transferencia y almacenamiento de obleas.