Los exclusivos recubrimientos de carburo de VeTek Semiconductor brindan una protección superior para las piezas de grafito en el proceso de epitaxia de SiC para el procesamiento de materiales semiconductores y semiconductores compuestos exigentes. El resultado es una vida útil prolongada de los componentes de grafito, la preservación de la estequiometría de la reacción, la inhibición de la migración de impurezas a aplicaciones de epitaxia y crecimiento de cristales, lo que resulta en un mayor rendimiento y calidad.
Nuestros recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) protegen los componentes críticos de hornos y reactores a altas temperaturas (hasta 2200 °C) del amoníaco caliente, el hidrógeno, los vapores de silicio y los metales fundidos. VeTek Semiconductor tiene una amplia gama de capacidades de medición y procesamiento de grafito para satisfacer sus requisitos personalizados, por lo que podemos ofrecer un recubrimiento de pago o un servicio completo, con nuestro equipo de ingenieros expertos listos para diseñar la solución adecuada para usted y su aplicación específica. .
Cristales semiconductores compuestos
VeTek Semiconductor puede proporcionar recubrimientos TaC especiales para diversos componentes y soportes. A través del proceso de recubrimiento líder en la industria de VeTek Semiconductor, el recubrimiento TaC puede obtener alta pureza, estabilidad a altas temperaturas y alta resistencia química, mejorando así la calidad del producto de las capas cristalinas de TaC/GaN) y EPl, y extendiendo la vida útil de los componentes críticos del reactor.
Aisladores térmicos
Componentes de crecimiento de cristales de SiC, GaN y AlN, incluidos crisoles, portasemillas, deflectores y filtros. Conjuntos industriales que incluyen elementos calefactores resistivos, boquillas, anillos de protección y accesorios de soldadura fuerte, componentes del reactor CVD epitaxial de GaN y SiC, incluidos portadores de obleas, bandejas satélite, cabezales de ducha, tapas y pedestales, componentes MOCVD.
Portador de oblea LED (diodo emisor de luz)
Receptor ALD (semiconductor)
Receptor EPI (proceso de epitaxia de SiC)
Susceptor satélite recubierto de TaC Susceptor y anillo de revestimiento TaC Piezas de revestimiento TaC Piezas de media luna con revestimiento TaC
Sic | TaC | |
Principales características | Pureza ultraalta, excelente resistencia al plasma | Excelente estabilidad a altas temperaturas (conformidad con el proceso a altas temperaturas) |
Pureza | >99,9999% | >99,9999% |
Densidad (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Dureza (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Resistividad [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Conductividad térmica (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Coeficiente de expansión térmica (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Solicitud | Plantilla de cerámica para equipos semiconductores (anillo de enfoque, cabezal de ducha, oblea simulada) | Piezas de equipos de crecimiento monocristalino de SiC, Epi, LED UV |
VeTek Semiconductor es un proveedor líder de obleas de epitaxia de carburo de silicio personalizado en China. Nos hemos especializado en materiales avanzados durante más de 20 años. Ofrecemos un portador de obleas de epitaxia de carburo de silicio para transportar sustrato de SiC y hacer crecer la capa de epitaxia de SiC en un reactor epitaxial de SiC. Este portador de oblea de epitaxia de carburo de silicio es una parte importante recubierta de SiC de la parte de media luna, resistencia a altas temperaturas, resistencia a la oxidación y resistencia al desgaste. Le invitamos a visitar nuestra fábrica en China.
Leer másEnviar ConsultaVeTek Semiconductor es un fabricante e innovador líder de cubiertas de recubrimiento de carburo de tantalio en China. Nos enfocamos en proporcionar productos de carburo de tantalio de alta pureza y resistentes a altas temperaturas. Nuestra cubierta recubierta de carburo de tantalio tiene un excelente rendimiento y confiabilidad, y puede proteger eficazmente materiales en ambientes corrosivos y con temperaturas extremadamente altas. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaEl anillo deflector recubierto de TaC de VeTek Semiconductor es un componente altamente especializado diseñado para procesos de crecimiento de cristales de SiC. El recubrimiento de TaC proporciona una excelente resistencia a altas temperaturas e inercia química para hacer frente a las altas temperaturas y los ambientes corrosivos durante el proceso de crecimiento de cristales. Esto garantiza un rendimiento estable y una larga vida útil del componente, reduciendo la frecuencia de reemplazo y el tiempo de inactividad. Estamos comprometidos a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaVeTek Semiconductor es un fabricante e innovador de anillos recubiertos de TaC a gran escala para reactores epitaxiales de SiC en China. Nos hemos especializado en recubrimientos de TaC durante muchos años. Nuestros productos tienen alta pureza, alta estabilidad, excelente resistencia a la corrosión y alta resistencia de unión. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaVeTek Semiconductor es una pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio a gran escala para el fabricante e innovador de LPE en China. Nos hemos especializado en el recubrimiento de TaC durante muchos años. Nuestros productos pueden soportar temperaturas superiores a 2000 grados Celsius y prolongar la vida útil de los consumibles. Esperamos convertirse en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaVeTek Semiconductor es un innovador y fabricante líder de discos de rotación planetaria recubiertos de carburo de tantalio en China. Nos hemos especializado en recubrimientos cerámicos durante muchos años. Nuestros productos tienen una alta pureza y resistencia a altas temperaturas. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en Porcelana.
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