Anillo de tres pétalos recubierto de TaC

VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional de anillos de tres pétalos recubiertos de TaC en China. El anillo de tres pétalos recubierto de TaC se utiliza en el sistema de deposición Aixtron G10 para semiconductores compuestos, epitaxia de alto rendimiento G10-GaN 150/200 mm para potencia de GaN y RF. aplicaciones.

El recubrimiento VeTek Semiconductor TaC es una nueva generación de material resistente a altas temperaturas, con mejor estabilidad a altas temperaturas que el SiC, como recubrimiento resistente a la corrosión, recubrimiento resistente a la oxidación, recubrimiento resistente al desgaste, se puede usar en ambientes por encima de 2000 ℃, ampliamente utilizado en piezas de extremo caliente aeroespacial de temperatura ultraalta, la tercera generación de crecimiento de monocristal semiconductor y otros campos.

Características del producto:

1. Alta pureza, contenido de impurezas <5 ppm

2. Resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, alta densidad, alta densidad

3. Es químicamente inerte al amoníaco, al hidrógeno, al silano y al silicio a altas temperaturas y tiene buena estabilidad térmica.

4. Resistencia al choque térmico, puede acelerar el ciclo de operación.

5. La fuerte adhesión del grafito garantiza una larga vida útil y sin delaminación del recubrimiento.

6. Tolerancias dimensionales estrictas.

Aplicaciones principales:

1. Crecimiento epitaxial

2. Crecimiento monocristalino

3. Desvío de corrosión a alta temperatura

4. Boquilla resistente a altas temperaturas y oxidación.

5. Álabes de turbina de gas

Parámetro del producto del anillo de tres pétalos recubierto de TaC

Taller de producción de semiconductores VeTek