Anillo guía de recubrimiento TaC

VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional de anillo guía de recubrimiento de TaC, crisol de recubrimiento de TaC y soporte para semillas en China.

El crisol con revestimiento de TaC, el soporte de semillas y el anillo guía con revestimiento de TaC en horno monocristalino de SiC y AIN se cultivaron mediante el método PVT.

Cuando se utiliza el método de transporte físico de vapor (PVT) para preparar SiC, el cristal semilla se encuentra en la región de temperatura relativamente baja y la materia prima de SiC se encuentra en la región de temperatura relativamente alta (por encima de 2400 ℃). La descomposición de la materia prima produce SiXCy (que incluye principalmente Si, SiC₂, Si₂C, etc.). El material en fase de vapor se transporta desde la región de alta temperatura hasta el cristal semilla en la región de baja temperatura, y se nuclea y crece. Para formar un solo cristal. Los materiales del campo térmico utilizados en este proceso, como el crisol, el anillo guía de flujo y el soporte del cristal semilla, deben ser resistentes a altas temperaturas y no contaminarán las materias primas de SiC ni los monocristales de SiC. De manera similar, los elementos calefactores en el crecimiento de monocristales de AlN deben ser resistentes al vapor de Al, a la corrosión por N₂ y deben tener una temperatura eutéctica alta (y AlN) para acortar el período de preparación del cristal.

Se descubrió que el SiC y el AlN preparados con materiales de campo térmico de grafito recubiertos con TaC eran más limpios, casi no contenían carbono (oxígeno, nitrógeno) ni otras impurezas, tenían menos defectos en los bordes, menor resistividad en cada región y la densidad de los microporos y la densidad de las picaduras de grabado eran más limpias. se redujo significativamente (después del grabado con KOH) y la calidad del cristal mejoró enormemente. Además, la tasa de pérdida de peso del crisol de TaC es casi nula, la apariencia no es destructiva, se puede reciclar (vida útil de hasta 200 h) y puede mejorar la sostenibilidad y eficiencia de dicha preparación de monocristal.

Parámetro del producto del anillo guía de recubrimiento TaC:

Talleres de producción:

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores: