Portador de barcos de oblea de SiC de alta pureza

VeTek Semiconductor ofrece un portaobleas de SiC de alta pureza personalizado. Fabricada con carburo de silicio de alta pureza, cuenta con ranuras para mantener la oblea en su lugar, evitando que se deslice durante el procesamiento. El recubrimiento CVD SiC también está disponible si es necesario. Como fabricante y proveedor profesional y sólido de semiconductores, el transportador de obleas de SiC de alta pureza de VeTek Semiconductor tiene un precio competitivo y una alta calidad. VeTek Semiconductor espera ser su socio a largo plazo en China.

Enviar Consulta

Descripción del Producto

VeTekSemi El portador de obleas de SiC de alta pureza es un importante componente de rodamiento utilizado en hornos de recocido, hornos de difusión y otros equipos en el proceso de fabricación de semiconductores. El portaobleas de SiC de alta pureza generalmente está hecho de material de carburo de silicio de alta pureza e incluye principalmente las siguientes partes:

• Cuerpo de soporte para barco: una estructura similar a un soporte, especialmente utilizada para transportarobleas de siliciou otros materiales semiconductores.

• Estructura de soporte: Su diseño de estructura de soporte le permite soportar cargas pesadas a altas temperaturas y no se deformará ni dañará durante el tratamiento a alta temperatura.

silicon carbide material

material de carburo de silicio

Propiedades físicas deCarburo de silicio recristalizado：

Propiedad	Valor típico
Temperatura de trabajo (°C)	1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor)
Contenido de SiC	> 99,96%
Contenido gratuito de Si	<0,1%
densidad aparente	2,60-2,70 g/cm3
Porosidad aparente	< 16%
Fuerza de compresión	> 600MPa
Resistencia a la flexión en frío	80-90 MPa (20°C)
Resistencia a la flexión en caliente	90-100MPa (1400°C)
Expansión térmica @1500°C	4.70*10^-6/°C
Conductividad térmica a 1200°C	23 W/m·k
módulo elástico	Módulo elástico 240 GPa
Resistencia al choque térmico	Extremadamente bueno

Si los requisitos del proceso de producción son mayores,Recubrimiento CVD SiCse puede realizar en el transportador de oblea de SiC de alta pureza para lograr que la pureza alcance más del 99,99995%, mejorando aún más su resistencia a altas temperaturas.

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.:

Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad	3,21 g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·k^-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m^-1·k^-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Durante el tratamiento a alta temperatura, el transportador de oblea de SiC de alta pureza permite que la oblea de silicio se caliente de manera uniforme para evitar el sobrecalentamiento local. Además, la resistencia a altas temperaturas del material de carburo de silicio le permite mantener la estabilidad estructural a temperaturas de 1200 °C o incluso superiores. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

Durante el proceso de difusión o recocido, la paleta en voladizo y el transportador de oblea de SiC de alta pureza trabajan juntos. Elpaleta voladizaEmpuja lentamente el transportador de oblea de SiC de alta pureza que transporta la oblea de silicio hacia la cámara del horno y lo detiene en una posición designada para su procesamiento.

El transportador de oblea de SiC de alta pureza mantiene el contacto con la oblea de silicio y se fija en una posición específica durante el proceso de tratamiento térmico, mientras que la paleta en voladizo ayuda a mantener toda la estructura en la posición correcta al tiempo que garantiza la uniformidad de la temperatura.

El transportador de oblea de SiC de alta pureza y la paleta en voladizo trabajan juntos para garantizar la precisión y estabilidad del proceso de alta temperatura.

Semiconductores VeTekle proporciona un portaobleas de SiC de alta pureza personalizado según sus necesidades. Esperamos su consulta.

Semiconductores VeTekTiendas de transporte de barcos con obleas de SiC de alta pureza:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Etiquetas calientes: Portador de barcos de oblea de SiC de alta pureza, China, fabricante, proveedor, fábrica, personalizado, compra, avanzado, duradero, hecho en China

Etiqueta del producto

Categoría relacionada