El susceptor de barril de grafito recubierto de SiC de VeTek Semiconductor es una bandeja de oblea de alto rendimiento diseñada para procesos de epitaxia de semiconductores, que ofrece una excelente conductividad térmica, resistencia química y a altas temperaturas, una superficie de alta pureza y opciones personalizables para mejorar la eficiencia de la producción. Bienvenido a su consulta adicional.
El susceptor de barril de grafito recubierto de SiC de VeTek Semiconductor es una solución avanzada diseñada específicamente para procesos de epitaxia de semiconductores, particularmente en reactores LPE. Esta bandeja de oblea altamente eficiente está diseñada para optimizar el crecimiento de materiales semiconductores, garantizando un rendimiento y confiabilidad superiores en entornos de fabricación exigentes.
Resistencia química y a altas temperaturas: Fabricado para soportar los rigores de las aplicaciones de alta temperatura, el susceptor de barril recubierto de SiC exhibe una resistencia notable al estrés térmico y la corrosión química. Su recubrimiento de SiC protege el sustrato de grafito de la oxidación y otras reacciones químicas que pueden ocurrir en entornos de procesamiento hostiles. Esta durabilidad no sólo extiende la vida útil del producto sino que también reduce la frecuencia de los reemplazos, lo que contribuye a reducir los costos operativos y aumentar la productividad.
Conductividad térmica excepcional: una de las características destacadas del susceptor de barril de grafito recubierto de SiC es su excelente conductividad térmica. Esta propiedad permite una distribución uniforme de la temperatura en toda la oblea, esencial para lograr capas epitaxiales de alta calidad. La transferencia de calor eficiente minimiza los gradientes térmicos, que pueden provocar defectos en las estructuras semiconductoras, mejorando así el rendimiento general y el rendimiento del proceso de epitaxia.
Superficie de alta pureza: la alta puLa superficie de calidad del susceptor de barril recubierto de SiC CVD es crucial para mantener la integridad de los materiales semiconductores que se procesan. Los contaminantes pueden afectar negativamente a las propiedades eléctricas de los semiconductores, lo que hace que la pureza del sustrato sea un factor crítico para el éxito de la epitaxia. Con sus refinados procesos de fabricación, la superficie recubierta de SiC garantiza una contaminación mínima, lo que promueve un crecimiento de cristales de mejor calidad y un rendimiento general del dispositivo.
La aplicación principal del susceptor de barril de grafito recubierto de SiC se encuentra en los reactores LPE, donde desempeña un papel fundamental en el crecimiento de capas semiconductoras de alta calidad. Su capacidad para mantener la estabilidad en condiciones extremas y al mismo tiempo facilitar una distribución óptima del calor lo convierte en un componente esencial para los fabricantes que se centran en dispositivos semiconductores avanzados. Al utilizar este susceptor, las empresas pueden esperar un rendimiento mejorado en la producción de materiales semiconductores de alta pureza, allanando el camino para el desarrollo de tecnologías de vanguardia.
VeTeksemi lleva mucho tiempo comprometida con proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos a la industria de semiconductores. Los susceptores de cilindro de grafito recubiertos de SiC de VeTek Semiconductor ofrecen opciones personalizadas adaptadas a aplicaciones y requisitos específicos. Ya sea modificando dimensiones, mejorando propiedades térmicas específicas o agregando características únicas para procesos especializados, VeTek Semiconductor se compromete a brindar soluciones que satisfagan plenamente las necesidades de los clientes. Esperamos sinceramente convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC. |
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Propiedad |
Valor típico |
Estructura cristalina |
FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111) |
RecubrimientoDensidad |
3,21 g/cm³ |
Dureza del recubrimiento de SiC |
Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g) |
Tamaño de grano |
2~10μm |
Pureza química |
99,99995% |
Capacidad calorífica |
640 J·kg-1·k-1 |
Temperatura de sublimación |
2700 ℃ |
Resistencia a la flexión |
415 MPa RT de 4 puntos |
Módulo de Young |
Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃ |
Conductividad térmica |
300W·m-1·k-1 |
Expansión Térmica (CTE) |
4,5×10-6K-1 |