Placa de soporte de pedestal con revestimiento de TaC

VeTek Semiconductor es un fabricante y proveedor de China que produce principalmente susceptores de recubrimiento CVD TaC, anillo de entrada, oblea Chunck, soporte recubierto de TaC y placa de soporte de pedestal con recubrimiento TaC con muchos años de experiencia. Esperamos construir una relación comercial con usted.

Las cerámicas TaC tienen un punto de fusión de hasta 3880 ℃, alta dureza (dureza Mohs 9 ~ 10), gran conductividad térmica (22 W·m-1·K-1), gran resistencia a la flexión (340 ~ 400 MPa) y pequeña expansión térmica. coeficiente (6,6×10−6K−1), y muestran una excelente estabilidad termoquímica y excelentes propiedades físicas. Tiene buena compatibilidad química y mecánica con grafito y materiales compuestos C/C, por lo que el recubrimiento de TaC se usa ampliamente en protección térmica aeroespacial, crecimiento monocristalino y reactores epitaxiales como Aixtron, reactor LPE EPI en la industria de semiconductores. El grafito recubierto de TaC tiene una mejor resistencia a la corrosión química que la tinta de piedra desnuda o el grafito recubierto de SiC, se puede usar de manera estable a una temperatura alta de 2200 °, no reacciona con muchos elementos metálicos, es la tercera generación de escena de crecimiento de monocristal semiconductor, epitaxia y grabado de obleas. del recubrimiento de mejor rendimiento, puede mejorar significativamente el proceso de control de temperatura y impurezas, preparación de obleas de carburo de silicio de alta calidad y obleas epitaxiales relacionadas. Es especialmente adecuado para cultivar monocristales de GaN o AlN en equipos MOCVD y monocristales de SiC en equipos PVT, y la calidad del monocristal cultivado obviamente mejora.

Recubrimiento de TaC y recubrimiento de SiC Repuestos que podemos hacer:

Parámetro del recubrimiento TaC:

Cadena Industrial:

Taller de producción