Recubrimiento de SiC Bandeja epitaxial de silicio monocristalino

La bandeja epitaxial de silicio monocristalino con recubrimiento de SiC de VeTek semiconductor está especialmente diseñada para el crecimiento epitaxial de silicio monocristalino y desempeña un papel importante en la aplicación industrial de la epitaxia de silicio monocristalino y dispositivos semiconductores relacionados.Recubrimiento de SiCno solo mejora significativamente la resistencia a la temperatura y la corrosión de la bandeja, sino que también garantiza una estabilidad a largo plazo y un excelente rendimiento en entornos extremos.

Ventajas del recubrimiento de SiC

●  Alta conductividad térmica: El recubrimiento de SiC mejora en gran medida la capacidad de gestión térmica de la bandeja y puede dispersar eficazmente el calor generado por dispositivos de alta potencia.

●  Resistencia a la corrosión: El recubrimiento de SiC funciona bien en entornos corrosivos y de alta temperatura, lo que garantiza una vida útil y confiabilidad a largo plazo.

●  uniformidad de la superficie: Proporciona una superficie plana y lisa, evitando eficazmente errores de fabricación causados ​​por irregularidades de la superficie y asegurando la estabilidad del crecimiento epitaxial.

Según la investigación, cuando el tamaño de poro del sustrato de grafito está entre 100 y 500 nm, se puede preparar un recubrimiento en gradiente de SiC sobre el sustrato de grafito, y el recubrimiento de SiC tiene una capacidad antioxidante más fuerte. La resistencia a la oxidación del revestimiento de SiC de este grafito (curva triangular) es mucho más fuerte que la de otras especificaciones de grafito, adecuado para el crecimiento de epitaxia de silicio monocristalino. La bandeja epitaxial de silicio monocristalino con revestimiento de SiC de VeTek Semiconductor utiliza grafito SGL comosustrato de grafito, que es capaz de lograr tal rendimiento.

La bandeja epitaxial de silicio monocristalino con revestimiento de SiC de VeTek Semiconductor utiliza los mejores materiales y la tecnología de procesamiento más avanzada. Lo más importante es que, independientemente de las necesidades de personalización de productos que tengan los clientes, podemos hacer todo lo posible para satisfacerlas.

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.

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