China Recubrimiento de carburo de silicio Fabricante, proveedor, fábrica

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultrapuro; estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parámetro del recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad	3,21 g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m-1·K-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Reactor EPI de SiC de media luna LPE

VeTek Semiconductor es un fabricante, innovador y líder profesional de productos del reactor LPE Halfmoon SiC EPI en China. El reactor LPE Halfmoon SiC EPI es un dispositivo diseñado específicamente para producir capas epitaxiales de carburo de silicio (SiC) de alta calidad, utilizadas principalmente en la industria de semiconductores. VeTek Semiconductor se compromete a proporcionar tecnología y soluciones de productos líderes para la industria de semiconductores y agradece sus consultas adicionales.

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Receptor MOCVD Aixtron

Como fabricante y proveedor profesional del susceptor Aixtron MOCVD en China, el susceptor Aixtron MOCVD de Vetek Semiconductor se utiliza ampliamente en el proceso de deposición de película delgada de la producción de semiconductores, especialmente en el proceso MOCVD. Vetek Semiconductor se centra en la fabricación y suministro de productos Aixtron MOCVD Susceptor de alto rendimiento. Bienvenido a su consulta.

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Calentador de grafito con revestimiento cerámico de carburo de silicio

Como fabricante y proveedor profesional de calentadores de grafito con recubrimiento cerámico de carburo de silicio en China, el calentador de grafito con recubrimiento cerámico de carburo de silicio es un calentador de alto rendimiento hecho de sustrato de grafito y recubierto con un recubrimiento cerámico de carbono de silicio (SiC) en su superficie. Con su diseño de material compuesto, este producto proporciona excelentes soluciones de calentamiento en la fabricación de semiconductores. Bienvenido a su consulta.

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calentador de revestimiento cerámico de carburo de silicio

VeTek Semiconductor es un fabricante profesional de calentadores con revestimiento cerámico de carburo de silicio en China. El calentador con revestimiento cerámico de carburo de silicio está diseñado principalmente para las altas temperaturas y los entornos hostiles de la fabricación de semiconductores. Su punto de fusión ultraalto, excelente resistencia a la corrosión y excelente conductividad térmica determinan la indispensabilidad de este producto en el proceso de producción de semiconductores. Esperamos sinceramente establecer una relación comercial a largo plazo con usted.

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Recubrimiento cerámico de carburo de silicio

Como fabricante y proveedor profesional de recubrimiento cerámico de carburo de silicio en China, el recubrimiento cerámico de carburo de silicio de Vetek Semiconductor se usa ampliamente en componentes clave de equipos de fabricación de semiconductores, especialmente cuando están involucrados procesos CVD y PECVD. Bienvenido a su consulta.

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Destinatario del PAI

El susceptor EPI de VeTek Semiconductor está diseñado para aplicaciones exigentes de equipos epitaxiales. Su estructura de grafito recubierta de carburo de silicio (SiC) de alta pureza ofrece una excelente resistencia al calor, uniformidad térmica uniforme para un espesor y resistencia consistentes de la capa epitaxial y una resistencia química duradera. Esperamos cooperar con usted.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Si necesita servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desea comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero fabricado en China, puede dejarnos un mensaje.