Fabricación de chips: un flujo de proceso de MOSFET

El proceso de fabricación de chips incluye fotolitografía,grabando, difusión, película delgada, implantación de iones, pulido químico mecánico, limpieza, etc. Este artículo explica aproximadamente cómo estos procesos se integran en secuencia para fabricar un MOSFET.

1.Primero tenemos unsustratocon una pureza de silicio de hasta el 99,9999999%.

2. Haga crecer una capa de película de óxido sobre el sustrato de cristal de silicio.

3. Aplique una capa de centrifugado uniformemente.

4.La fotolitografía se realiza a través de una fotomáscara para transferir el patrón de la fotomáscara al fotorresistente.

5. El fotoprotector del área fotosensible se elimina después del revelado.

6. Grabe la película de óxido que no está cubierta por el fotorresistente mediante grabado, de modo que el patrón de fotolitografía se transfiera aloblea.

7. Limpiar y retirar el exceso de fotorresistente.

8. Aplicar otro diluyentepelícula de óxido. Después de eso, mediante la fotolitografía y el grabado anteriores, solo se retiene la película de óxido en el área de la puerta.

9. Haga crecer una capa de polisilicio sobre él.

10. Como en el paso 7, utilice fotolitografía y grabado para mantener sólo el polisilicio en la capa de óxido de la puerta.

11. Cubra la capa de óxido y la puerta mediante limpieza por fotolitografía, de modo que toda la oblea quedeimplantado con iones, y habrá una fuente y un drenaje.

12. Coloque una capa de película aislante sobre la oblea.

13. Grabar los orificios de contacto de la fuente, la compuerta y el drenaje mediante fotolitografía y grabado.

14. Luego deposite el metal en el área grabada, de modo que queden cables metálicos conductores para la fuente, la compuerta y el drenaje.

Finalmente, se fabrica un MOSFET completo mediante una combinación de varios procesos.

De hecho, la capa inferior del chip está compuesta por una gran cantidad de transistores.

Diagrama de fabricación MOSFET, fuente, compuerta, drenaje.

Varios transistores forman puertas lógicas.

Las puertas lógicas forman unidades aritméticas.

Finalmente, es un chip del tamaño de una uña.