Campana de cuarzo semiconductor

SemillasSemiconductorCampana de cuarzodesempeña múltiples funciones clave en el procesamiento de semiconductores. el sistema de vacío de campanano solo proporciona un entorno de reacción estable y controlado, sino que también garantiza la eficiencia y precisión de diversos procesos a través de su excelente estabilidad térmica, inercia química y transparencia óptica. Estas características también determinan quecámara de vacío de campanaEs un componente indispensable en el proceso de fabricación de semiconductores.

SemillasCuarzo semiconductor Crea un entorno de procesamiento sellado que permite que los gases de proceso se distribuyan uniformemente y reaccionen con la superficie de la oblea en condiciones controladas. Por lo tanto,Campana de cuarzo semiconductorSe suele utilizar en procesos como CVD, difusión y oxidación para controlar con precisión la composición y presión de la atmósfera, asegurando así la uniformidad de la película y la pureza del material.

Al mismo tiempo, los materiales de cuarzo tienen una excelente estabilidad térmica, resistencia a altas temperaturas (el ambiente de alta temperatura en el procesamiento de semiconductores suele ser de hasta 1000 °C o más) y características del producto para mantener una forma y tamaño estables durante el calentamiento y el enfriamiento. Esto determina que elCampana de cuarzoPuede garantizar completamente la uniformidad de la temperatura de la superficie de la oblea en el entorno de difusión y oxidación de alta temperatura, mejorando así la calidad y uniformidad de la capa depositada o difundida.

Más importante aún,SemillasSemiconductor cuarzo de alta pureza No es fácil reaccionar con gases de proceso en ambientes de alta temperatura y tiene una fuerte resistencia a la corrosión. Esta característica del producto determina que en procesos que utilizan gases corrosivos (como algunos procesos CVD),Campana de cuarzo semiconductorPuede mantener completamente la estabilidad química, evitando así la contaminación de los dispositivos semiconductores.

Semiconductores VeTekCampana de cuarzo:

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores: