Portabrocas de vacío de cerámica porosa

Vetek Semiconductor es un fabricante chino de mandril de vacío de cerámica porosa, que se utiliza para fijar y sujetar obleas de silicio u otros sustratos mediante adsorción al vacío para garantizar que estos materiales no se muevan ni se deformen durante el procesamiento. Vetek Semiconducto puede proporcionar productos de mandril de vacío de cerámica porosa de alta pureza con un rendimiento de alto costo. Bienvenido a consultar.

Vetek Semiconductor ofrece una serie de excelentes productos de mandril de vacío de cerámica porosa, especialmente diseñados para cumplir con los estrictos requisitos de la fabricación moderna de semiconductores. Estos transportadores muestran un rendimiento excelente en cuanto a limpieza, planitud y configuración personalizable de la ruta del gas.

Limpieza incomparable:

Eliminación de impurezas: Cada mandril de vacío de cerámica porosa se sinteriza a 1200 °C durante 1,5 horas para eliminar completamente las impurezas y garantizar que la superficie esté tan limpia como nueva.

Envasado al vacío: Para mantener el estado limpio, el portabrocas de vacío de cerámica porosa se envasa al vacío para evitar la contaminación durante el almacenamiento y el transporte.

Excelente planitud:

Adsorción de obleas sólidas: El mandril de vacío de cerámica porosa mantiene una fuerza de adsorción de -60 kPa y -70 kPa antes y después de la colocación de la oblea, respectivamente, lo que garantiza que la oblea se adsorba firmemente y evita que se caiga durante la transmisión a alta velocidad.

Mecanizado de precisión: La parte posterior del transportador está mecanizada con precisión para garantizar una superficie completamente plana, manteniendo así un sello de vacío estable y evitando fugas.

Diseño personalizado:

Centrado en el cliente: Vetek Semiconductor trabaja en estrecha colaboración con los clientes para diseñar configuraciones de rutas de gas que cumplan con los requisitos de sus procesos específicos para optimizar la eficiencia y el rendimiento.

Estrictas pruebas de calidad:

Vetek realiza pruebas exhaustivas en cada pieza del portabrocas de vacío de SiC poroso para garantizar su calidad:

Prueba de oxidación: El mandril de vacío de SiC se calienta rápidamente a 900 °C en un ambiente libre de oxígeno para simular el proceso de oxidación real. Antes de esto, el soporte se recoce a 1100 °C para garantizar un rendimiento óptimo.

Prueba de residuos metálicos: Para evitar la contaminación, el portador se calienta a una temperatura alta de 1200 °C para detectar si hay impurezas metálicas precipitadas.

prueba de vacío: Al medir la diferencia de presión entre el mandril de vacío de SiC poroso con y sin oblea, se prueba estrictamente su rendimiento de sellado al vacío. La diferencia de presión debe controlarse dentro de ±2kPa.

Tabla de características del portabrocas de vacío de cerámica porosa:

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