Efector final de manipulación de obleas

El efector final de manipulación de obleas es un tipo de mano robótica diseñada específicamente para la industria de semiconductores, que generalmente se utiliza para manipular y transferirobleas. El entorno de producción de obleas requiere una limpieza extremadamente alta, porque pequeñas partículas o contaminantes pueden provocar que los chips fallen durante el procesamiento. Los materiales cerámicos son muy utilizados en la fabricación de estas manos debido a sus excelentes propiedades físicas y químicas.

En comparación con los materiales metálicos tradicionales, las ventajas decerámicaen materiales se reflejan principalmente en los siguientes aspectos:

    •Resistencia a la corrosión: Las obleas están expuestas a una variedad de productos químicos durante el proceso de fabricación y los materiales cerámicos pueden resistir eficazmente la corrosión y garantizar el uso a largo plazo del equipo.

    •Baja liberación de partículas: Dado que las cerámicas tienen una liberación de partículas extremadamente baja, difícilmente producirán partículas durante el proceso de manipulación, lo que reduce el riesgo de contaminación de la oblea.

    •Buena resistencia a altas temperaturas: En algunos procesos, las obleas deben manipularse en un entorno de alta temperatura, y la resistencia a altas temperaturas del robot de manipulación de obleas de materiales cerámicos les permite adaptarse a estos entornos hostiles.

    •Aislamiento eléctrico: Las cerámicas son aislantes eléctricos naturales, lo cual es esencial para los procesos de procesamiento que involucran corriente y pueden evitar que la electricidad estática afecte las obleas.

El equipo de manipulación de obleas convencional está hecho de aluminio, el barco VetekSemi Wafer Handling SiC hecho de SiC tiene muchas ventajas. El SiC es conocido por su excelente resistencia mecánica, excelente estabilidad térmica y resistencia a la corrosión. Estas propiedades lo convierten en un material ideal para el brazo robótico de manipulación de obleas, donde la limpieza, la precisión y la confiabilidad son fundamentales.

Con el desarrollo continuo de la tecnología de semiconductores, el tamaño de las obleas ha aumentado gradualmente, lo que ha planteado requisitos más altos para el diseño y fabricación del efector final de manipulación de obleas. En el futuro, con la mejora de la tecnología de automatización, la precisión, velocidad y confiabilidad del End Effector for Wafer Handling seguirán mejorando.

Como uno de los equipos principales en la fabricación de semiconductores, los robots de manipulación de obleas ocupan una posición importante en las fábricas de semiconductores debido a su alta limpieza, resistencia a la corrosión y estabilidad a altas temperaturas. VeTek Semiconductor puede ofrecer a los clientes productos personalizados de efector final de manipulación de obleas y servicios de preventa y posventa, y esperamos su consulta.

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