¿Qué tan delgadas pueden ser las obleas de silicio con el proceso Taiko?

¿Qué es el proceso Taiko?

El proceso Taiko es una tecnología de adelgazamiento de la oblea que deja el borde de la oblea sin diluir y solo adelgaza el área central de la oblea. Esto permite que la zona central de la oblea alcance un espesor extremadamente fino, mientras que el borde de la oblea mantiene su espesor original.

¿Por qué utilizar el proceso Taiko?

Como se muestra en la figura anterior, el proceso de adelgazamiento tradicional adelgaza toda la oblea, lo que hace que la estructura general de la oblea se vuelva muy frágil, extremadamente frágil durante el proceso de producción y una deformación excesiva, que no favorece la fabricación posterior. El proceso Taiko confiere a toda la oblea una mayor resistencia mecánica, lo que resuelve perfectamente este problema. ¿Por qué se llama proceso Taiko? El proceso Taiko es un proceso inventado por la empresa japonesa Disco. La inspiración de su nombre proviene del tambor japonés Taiko (tambor Taiko), que tiene bordes gruesos y partes medias más delgadas, de ahí el nombre.

¿Cuál es el espesor mínimo al que puede adelgazarse el proceso Taiko?

La imagen de arriba muestra el efecto de una oblea de 8 pulgadas con un espesor de 50um. La segunda imagen de este artículo muestra el efecto de una oblea de 12 pulgadas adelgazada a 50 µm.

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