¿Qué es el recubrimiento de carburo de tantalio?

El material cerámico de carburo de tantalio (TaC) tiene un punto de fusión de hasta 3880 ℃ y es un compuesto con un alto punto de fusión y buena estabilidad química. Puede mantener un rendimiento estable en entornos de alta temperatura. Además, también tiene resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión química y buena compatibilidad química y mecánica con materiales de carbono, lo que lo convierte en un material de revestimiento protector de sustrato de grafito ideal. 

El recubrimiento de carburo de tantalio puede proteger eficazmente los componentes de grafito de los efectos del amoníaco caliente, el hidrógeno, el vapor de silicio y el metal fundido en entornos de uso hostiles, extendiendo significativamente la vida útil de los componentes de grafito y suprimiendo la migración de impurezas en el grafito, asegurando la calidad deepitaxialycrecimiento de cristales.

Figura 1. Componentes comunes recubiertos de carburo de tantalio

La deposición química de vapor (CVD) es el método más maduro y óptimo para producir recubrimientos de TaC en superficies de grafito.

Utilizando TaCl5 y propileno como fuentes de carbono y tantalio respectivamente, y argón como gas portador, el vapor de TaCl5 vaporizado a alta temperatura se introduce en la cámara de reacción. A la temperatura y presión objetivo, el vapor del material precursor se adsorbe en la superficie del grafito, experimentando una serie de reacciones químicas complejas como la descomposición y combinación de fuentes de carbono y tantalio, así como una serie de reacciones superficiales como la difusión y desorción de subproductos del precursor. Finalmente, se forma una densa capa protectora en la superficie del grafito, que protege el grafito de una existencia estable en condiciones ambientales extremas y amplía significativamente los escenarios de aplicación de los materiales de grafito.

Figura 2.Principio del proceso de deposición química de vapor (CVD)

Semiconductores VeTekproporciona principalmente productos de carburo de tantalio: anillo guía de TaC, anillo de tres pétalos recubierto de TaC, crisol con recubrimiento de TaC, grafito poroso con recubrimiento de TaC se utilizan ampliamente en el proceso de crecimiento de cristales de SiC; grafito poroso con recubrimiento de TaC, anillo guía recubierto de TaC, portador de oblea de grafito recubierto de TaC, Susceptores de recubrimiento de TaC, susceptores planetarios, susceptores de satélite recubiertos de TaC y estos productos de recubrimiento de carburo de tantalio se utilizan ampliamente enProceso de epitaxia de SiCyProceso de crecimiento de cristal único de SiC.

Figura 3.VeterinarioLos productos de recubrimiento de carburo de tantalio más populares de ek Semiconductor